【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种蓝宝石生长炉的坩埚加热机构。
技术介绍
蓝宝石生长炉的坩埚加热机构利用加热棒组合成具有收容空腔的结构用于加热时,往往因为需要组合成特定形状的空腔而使加热棒的长度不相等,从而导致加热棒的发热量不等造成整个加热机构的加热不均匀,难以满足对加热效果要求较高的使用场合。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题就是提供一种结构简单加热均匀的蓝宝石生长炉的坩埚加热机构。为解决上述技术问题,本技术采用如下技术方案:一种蓝宝石生长炉的坩埚加热机构,所述加热机构包括若干加热棒,所述加热棒具有侧壁加热段和底壁加热段,坩埚可收容于加热棒围置形成的空间内,若干加热棒的底壁加热段呈梯度布置,底壁加热段上设有折弯部,折弯部的长度按底壁加热段的梯度布置方向递增或递减。折弯部的长度按底壁加热段的梯度布置方向递增或递减,能够使所述每个加热棒的总长度一致,从而发热量一致使加热效果更均匀。优选的,坩埚的底壁边缘下方分布多个具有不同高度层面的加热区,每个加热区包含多个呈梯度布置的底壁加热段。底壁加热段分层梯度布置,能够使加热棒的分布紧凑。优选的,所述折弯部沿坩埚的高度方向折弯。优选的,加热棒的侧壁加热段等间距布置。优选的,所述折弯部的形状为U形、圆弧形或三角形。优选的,所述折弯部形成于底壁加热段的中部或端部位置。优选的,所述加热机构还包括用于加固加热棒的固定部件,所述固定部件包括连接在侦彳壁加热段内侧的内限位环和/或连接在侦彳壁加热段外侧的外限位环。本技术提供的蓝宝石生长炉的坩埚加热机构通过设置加热棒的形状及其分布方式,保证每个加热棒的发热量相同并且其形成的空间结构对称,保证加热均匀 ...
【技术保护点】
一种蓝宝石生长炉的坩埚加热机构,所述加热机构包括若干加热棒,所述加热棒具有侧壁加热段和底壁加热段,坩埚可收容于加热棒围置形成的空间内,若干加热棒的底壁加热段呈梯度布置,其特征在于:底壁加热段上设有折弯部,折弯部的长度按底壁加热段的梯度布置方向递增或递减。
【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石生长炉的坩埚加热机构,所述加热机构包括若干加热棒,所述加热棒具有侧壁加热段和底壁加热段,坩埚可收容于加热棒围置形成的空间内,若干加热棒的底壁加热段呈梯度布置,其特征在于:底壁加热段上设有折弯部,折弯部的长度按底壁加热段的梯度布置方向递增或递减。2.如权利要求1所述的一种蓝宝石生长炉的坩埚加热机构,其特征在于:坩埚的底壁边缘下方分布多个具有不同高度层面的加热区,每个加热区包含多个呈梯度布置的底壁加热段。3.如权利要求1所述的一种蓝宝石生长炉的坩埚加热机构,其特征在于:所述折弯部沿坩埚的高度方向折弯。4.如权利要求1所述的一种蓝...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴明森,鲁永,张建成,陈林,郑建生,
申请(专利权)人:浙江露笑光电有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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