蓝宝石衬底片粗磨研磨液及其配制方法技术

本发明专利技术公开了一种蓝宝石衬底片粗磨研磨液，由碳化硼、水和悬浮液组成，碳化硼、水和悬浮液的重量比＝2∶4∶1，所述悬浮液由分散剂、悬浮剂和防锈剂组成，分散剂、悬浮剂和防锈剂的重量比＝2∶5∶1，所述分散剂为高分子有机醇，所述悬浮剂为高分子化合物，所述防锈剂为碱。本发明专利技术由于采用了上述技术方案，所得研磨液成本低，稳定性好，大大提高加工效率，使得晶片平整度大为提高。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种。
技术介绍
双面减薄是蓝宝石衬底片加工工序的第一步，也是至关重要的一步，双面减薄的厚度、TTV、背面粗糙度直接影响后序的加工质量。通常双面研磨采用氧化铝或金刚石粉进行研磨，这两种材质不利于蓝宝石平整度要求，而且成本高昂。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种， 所得研磨液成本低，稳定性好。为解决上述技术问题，本专利技术采用如下技术方案蓝宝石衬底片粗磨研磨液，由碳化硼、水和悬浮液组成，碳化硼、水和悬浮液的重量比=2 4 1，所述悬浮液由分散剂、悬浮剂和防锈剂组成，分散剂、悬浮剂和防锈剂的重量比=2 5 1，所述分散剂为高分子有机醇，所述悬浮剂为高分子化合物，所述防锈剂为碱。作为优选，所述高分子有机醇为乙二醇。作为优选，所述高分子化合物为硬脂酸。作为优选，所述碱为氢氧化钠。蓝宝石衬底片粗磨研磨液的配制方法，包括以下步骤a、按照权利要求1所述配比称取原料混合；b、将步骤a所得液体用100目过滤网过滤；C、将步骤b所得液体用超声波振荡仪振荡15分钟。作为优选，所述超声波振荡仪的频率为^Wiz,功率为300w。本专利技术由于采用了上述技术方案，所得研磨液成本低，稳定性好，大大提高加工效率，使得晶片平整度大为提高。具体实施例方式蓝宝石衬底片粗磨研磨液，由碳化硼、水和悬浮液组成，碳化硼、水和悬浮液的重量比=2 4 1，所述悬浮液由乙二醇、硬脂酸和氢氧化钠组成，乙二醇、硬脂酸和氢氧化钠的重量比=2 5 1。其中，碳化硼采用型号F240的碳化硼。蓝宝石衬底片粗磨研磨液的配制方法，包括以下步骤a、按照权利要求1所述配比称取原料混合；b、将步骤a所得液体用100目过滤网过滤；C、将步骤b所得液体用超声波振荡仪振荡15分钟。所述超声波振荡仪的频率为^Wiz，功率为300w。采用本专利技术碳化硼研磨液加工出的产品，整盘厚度精确到目标厚度士 lum，表面平整度TTV ^ 2um,背面无划伤，背面粗糙度0. 8 1. 2um。权利要求1.蓝宝石衬底片粗磨研磨液，其特征在于由碳化硼、水和悬浮液组成，碳化硼、水和悬浮液的重量比=2 4 1，所述悬浮液由分散剂、悬浮剂和防锈剂组成，分散剂、悬浮剂和防锈剂的重量比=2 5 1，所述分散剂为高分子有机醇，所述悬浮剂为高分子化合物， 所述防锈剂为碱。2.根据权利要求1所述蓝宝石衬底片粗磨研磨液，其特征在于所述高分子有机醇为乙二醇。3.根据权利要求1所述蓝宝石衬底片粗磨研磨液，其特征在于所述高分子化合物为硬脂酸。4.根据权利要求1所述蓝宝石衬底片粗磨研磨液，其特征在于所述碱为氢氧化钠。5.根据权利要求1所述蓝宝石衬底片粗磨研磨液的配制方法，其特征在于包括以下步骤a、按照权利要求1所述配比称取原料混合；b、将步骤a所得液体用100目过滤网过滤；C、将步骤b所得液体用超声波振荡仪振荡15分钟。6.根据权利要求5所述蓝宝石衬底片粗磨研磨液的配制方法，其特征在于所述超声波振荡仪的频率为^Wiz,功率为300w。全文摘要本专利技术公开了一种蓝宝石衬底片粗磨研磨液，由碳化硼、水和悬浮液组成，碳化硼、水和悬浮液的重量比＝2∶4∶1，所述悬浮液由分散剂、悬浮剂和防锈剂组成，分散剂、悬浮剂和防锈剂的重量比＝2∶5∶1，所述分散剂为高分子有机醇，所述悬浮剂为高分子化合物，所述防锈剂为碱。本专利技术由于采用了上述技术方案，所得研磨液成本低，稳定性好，大大提高加工效率，使得晶片平整度大为提高。文档编号C09K3/14GK102212334SQ20111009778公开日2011年10月12日 申请日期2011年4月19日 优先权日2011年4月19日专利技术者景旭斌 申请人:浙江露笑光电有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．蓝宝石衬底片粗磨研磨液，其特征在于：由碳化硼、水和悬浮液组成，碳化硼、水和悬浮液的重量比＝２∶４∶１，所述悬浮液由分散剂、悬浮剂和防锈剂组成，分散剂、悬浮剂和防锈剂的重量比＝２∶５∶１，所述分散剂为高分子有机醇，所述悬浮剂为高分子化合物，所述防锈剂为碱。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：景旭斌，
申请(专利权)人：浙江露笑光电有限公司，
类型：发明
国别省市：33