一种单晶炉用加热器的电极连接脚盖板制造技术

技术编号:8690065 阅读:165 留言:0更新日期:2013-05-13 01:23
本实用新型专利技术提供了一种单晶炉用加热器的电极连接脚盖板,包括本体,其还包括:设置在所述本体表面的保温层;覆盖在所述保温层上,且与所述本体连接以与所述本体配合将所述保温层夹紧的连接体。本实用新型专利技术提供的单晶炉用加热器的电极连接脚盖板与原有仅具备本体的盖板相比,不仅提高了盖板的保温效果,使得硅蒸汽在电极连接脚处冷凝形成的固体减少,而且多层结构也提高了盖板对电极连接脚的防护性,减少了冷凝固体附着到电极连接脚上的几率,进而减少甚至避免了石墨螺丝和电极连接脚发生粘接的现象,减少了需要锯断石墨螺丝的情况,降低了生产成本。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶炉
,更具体地说,涉及一种单晶炉用加热器的电极连接脚盖板
技术介绍
单晶炉是采用直拉法生产单晶硅的主要设备,其主要生产过程是将原料多晶硅块放入到单晶炉中,然后使用单晶炉的加热器对其进行加热,使多晶硅块熔化为多晶硅溶液,然后在籽晶的引导下冷凝生成单晶硅固体。在上述多晶硅块熔化成溶液的过程中,存在于多晶硅块中的杂质会挥发到热场中,同时在熔化的过程中也会由于高温而产生硅蒸汽,而热场中的杂质会对后续的单晶硅生长造成一定的影响,所以一般会将挥发出的杂质排出单晶炉,硅蒸汽也会随着气流一同排出,当单晶炉使用下排气的方式排除杂质时,含有杂质和硅蒸汽的气流流经单晶炉的导流筒下部、溶液液面和加热器,并最终从排气口排出单晶炉。在单晶炉的内部热场中,受到加热器形状和大小的限制,热场中各点的温度不尽相同,即热场中存在温度差。在竖直方向上,内部热场中加热器01中心部分温度最高,远离加热器01的上端部和下端部的温度随着距离的增大逐渐降低,而加热器01的电极连接脚02则正处于加热器01下端部的低温区,且采用下排气方式排出的硅蒸汽会流经此处,所以在电极连接脚02的正上方覆盖有矩形石墨盖板03,以对电极连接脚02进行保温和防护,如图1所示。此矩形的石墨盖板03在其两个短边和一个长边的边缘处均设置有垂直其平面凸出的挡边,使其一侧形成凹槽,如图2所示,石墨盖板03在安装到电极连接脚的上方时,挡边位于石墨盖板03的下方,与电极连接脚02靠近设置,但不与电极连接脚02贴合。在实际的生产过程中,硅蒸汽在流经电极连接脚02处时,会因为温度的降低而产生一定程度的冷凝,进而形成固体附着在电极连接脚02上,一旦硅蒸汽冷凝而形成的固体过多,其会将用于连接电极连接脚02和石墨电极的石墨螺丝04与电极连接脚02粘接为一体,不方便加热器01的拆卸,严重时需将石墨螺丝04锯断才能将加热器01取出,造成了不必要的损失,进而增加了生产成本。综上所述,如何提供一种单晶炉用加热器的电极连接脚盖板,以减少石墨螺丝和电极连接脚发生粘接的现象出现,进而降低损坏石墨螺丝的几率以节约生产成本,是目前本领域技术人员亟待解决的问题。
技术实现思路
有鉴于此,本技术提供了一种单晶炉用加热器的电极连接脚盖板,其减少了石墨螺丝和电极连接脚发生粘接的现象出现,进而降低损坏石墨螺丝的几率以节约生产成本。为了达到上述目的,本技术提供如下技术方案:一种单晶炉用加热器的电极连接脚盖板,包括本体,其还包括:设置在所述本体表面的保温层;覆盖在所述保温层上,且与所述本体连接以与所述本体配合将所述保温层夹紧的连接体。优选的,上述单晶炉用加热器的电极连接脚盖板中,所述连接体设置在所述本体形成的凹槽的内侧。优选的,上述单晶炉用加热器的电极连接脚盖板中,所述连接体设置在所述本体形成的凹槽的外侧。优选的,上述单晶炉用加热器的电极连接脚盖板中,所述连接体与所述本体为一体式设计,且构成容纳所述保温层的封闭内腔。优选的,上述单晶炉用加热器的电极连接脚盖板中,所述本体和连接体靠近单晶炉的加热器设置的两个角为圆角。优选的,上述单晶炉用加热器的电极连接脚盖板中,所述本体和所述连接体均为石墨体。优选的,上述单晶炉用加热器的电极连接脚盖板中,所述保温层为软毡层。本技术提供的单晶炉用加热器的电极连接脚盖板中,在本体的表面上设置了保温层,并且还设置有覆盖该保温层的连接体,使得盖板在原有本体的基础上增设了保温层和连接体,与原有仅具备本体的盖板相比,不仅提高了盖板的保温效果,使得硅蒸汽在电极连接脚处冷凝形成的固体减少,而且多层结构也提高了盖板对电极连接脚的防护性,减少了冷凝固体附着到电极连接脚上的几率,进而减少甚至避免了石墨螺丝和电极连接脚发生粘接的现象,减少了需要锯断石墨螺丝的情况,降低了生产成本。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为现有技术提供的石墨盖板与加热器、电极连接脚配合的示意图;图2为现有技术提供的石墨盖板的结构示意图;图3为本技术实施例提供的单晶炉用加热器的电极连接脚盖板的主视图(以连接体设置在本体的凹槽内侧为例);图4为连接体设置在本体凹槽内侧的配合示意图;图5为连接体设置在本体凹槽外侧的配合示意图;图6为本技术实施例提供的单晶炉用加热器的电极连接脚盖板与加热器、电极连接脚配合的结构示意图。以上图1-图6中:加热器01、电极连接脚02、石墨盖板03、石墨螺丝04 ;本体1、保温层2、连接体3。具体实施方式为了进一步理解本技术,下面结合实施例对本技术优选实施方式进行描述,但是应当理解,这些描述只是为了进一步说明本技术的特征和优点,而不是对本技术权利要求的限制。本技术提供了一种单晶炉用加热器的电极连接脚盖板,其减少了石墨螺丝和电极连接脚发生粘接的现象出现,进而降低损坏石墨螺丝的几率以节约生产成本。下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。如图3所示,本技术实施例提供的单晶炉用加热器的电极连接脚盖板,包括本体I,其还包括:设置在本体I表面的保温层2 ;覆盖在保温层2上,且与本体I连接以与本体I配合将保温层2夹紧的连接体3。其中,图3仅仅是将连接体3设置在本体I凹槽内侧的实施方式,图中虚线为连接体3,连接体3还可以如图5所示的方式设置在本体I凹槽的外侧。本实施例提供的单晶炉用加热器的电极连接脚盖板中,在本体I的表面上设置了保温层2,并且还设置有覆盖该保温层2的连接体3,使得盖板在原有本体I的基础上增设了保温层2和连接体3,与原有仅具备本体I的盖板相比,不仅提高了盖板的保温效果,使得硅蒸汽在电极连接脚处冷凝形成的固体减少,而且多层结构也提高了盖板对电极连接脚的防护性,减少了冷凝固体附着到电极连接脚上的几率,进而减少甚至避免了石墨螺丝和电极连接脚发生粘接的现象,减少了需要锯断石墨螺丝的情况,降低了生产成本。为了进一步优化上述技术方案,本实施例提供的单晶炉用加热器的电极连接脚盖板中,连接体3设置在本体I形成的凹槽的内侧,如图4所示,其中虚线部分为连接体3。本实施例所要实现的技术目的就是要更好的避免硅蒸汽冷凝成的固体将石墨螺丝和电极连接脚粘接在一起而造成加热器无法拆卸,所以增强其保温性能就是一个很好的选择,因此设置了保温层2,并设置了用于与本体I配合固定保温层2的连接体3。而将保温层2设置在本体I由挡边形成的凹槽的内侧,是为了避免增大本实施例提供的单晶炉用加热器的电极连接脚盖板的体积而造成其他的不良影响,例如因体积增大与加热器过于靠近而与加热器之间发生“打火”现象。因为保温层2设置在了凹槽的内侧,所以在此基础上将覆盖保温层2的连接体3也设置在了凹槽的内侧,这样即可以实现技术目的,同时也本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种单晶炉用加热器的电极连接脚盖板,包括本体(1),其特征在于,还包括:设置在所述本体(1)表面的保温层(2);覆盖在所述保温层(2)上,且与所述本体(1)连接以与所述本体(1)配合将所述保温层(2)夹紧的连接体(3)。

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉用加热器的电极连接脚盖板,包括本体(I),其特征在于,还包括: 设置在所述本体(I)表面的保温层(2); 覆盖在所述保温层(2 )上,且与所述本体(I)连接以与所述本体(I)配合将所述保温层(2)夹紧的连接体(3)。2.根据权利要求1所述的单晶炉用加热器的电极连接脚盖板,其特征在于,所述连接体(3 )设置在所述本体(I)形成的凹槽的内侧。3.根据权利要求1所述的单晶炉用加热器的电极连接脚盖板,其特征在于,所述连接体(3)设置在所述本体(I)形成的凹槽的外侧。4.根...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘淑娜
申请(专利权)人:英利能源中国有限公司
类型:新型
国别省市:河北;13

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