一种微流路芯片系列微器件的结构制造技术

本发明专利技术公开一种微流路芯片系列微器件的结构，包括一个气体通道和至少一个液体通道，气体通道和各液体通道之间通过微通道连通。本发明专利技术微流路芯片的最基本微器件包括微压力感受器、微阀、微活塞及微泵，都由芯片内部的压力数字化的气体微线路控制，每一种微器件都利用微孔来阻隔气相和液相，没有任何活动部件，也无需任何特殊的透气或弹性的材料，由气——液两相的压力差来驱动气——液界面从而使微器件实现其传感压力、开关流路、液体有效动力输送等功能。各种微器件可在硬质材料（如玻璃）上一次蚀刻成型，便于低成本集成大量的微器件，也可以在其他材料上采用其他方法达成芯片及这几种基本微器件的结构。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：彭兴跃，
申请(专利权)人：彭兴跃，
类型：
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