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一种微流路芯片系列微器件的结构制造技术
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文档序号:8805295
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本发明公开一种微流路芯片系列微器件的结构,包括一个气体通道和至少一个液体通道,气体通道和各液体通道之间通过微通道连通。本发明微流路芯片的最基本微器件包括微压力感受器、微阀、微活塞及微泵,都由芯片内部的压力数字化的气体微线路控制,每一种微器件...
该专利属于彭兴跃所有,仅供学习研究参考,未经过彭兴跃授权不得商用。
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