压电马达、驱动装置、电子部件搬送装置、电子部件检查装置、印刷装置、机器人手以及机器人制造方法及图纸

本发明专利技术提供压电马达、驱动装置、电子部件搬送装置、电子部件检查装置、印刷装置、机器人手以及机器人。压电马达具备：压电元件、设置于压电元件的电极、与电极连接的电线、将电极与电线接合的接合部、收纳压电元件的收纳壳体以及设置于压电元件与上述收纳壳体之间的支承部，接合部以及电线设置于电极与收纳壳体之间的间隙。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及压电马达、驱动装置、电子部件搬送装置、电子部件检查装置、印刷装置、机器人手以及机器人。
技术介绍
公知有使由压电材料形成的振动体振动来驱动对象物的压电马达。该压电马达具有的特征是，与利用电磁力来使转子旋转的方式的电磁马达相比是小型的并且能够得到大的驱动力，而且能够以高分辨本领定位对象物。因此，作为例如照相机的驱动机构等各种装置的促动器使用。压电马达以如下的原理进行动作。首先，将振动体(压电材料)形成为近似长方体形状，并在长边方向的端面预先设置凸部。然后，对振动体施加规定频率的电压，从而同时产生振动体伸缩的方式的振动和振动体弯曲的方式的振动。这样，振动体的端面开始进行朝一个方向旋转的椭圆运动。因此，若将设置于端面的凸部朝对象物按压，则利用在凸部与对象物之间作用的摩擦力，能够使对象物朝恒定方向移动。根据这样的动作原理，需要在将设置于振动体的端面的凸部按压到对象物的状态下使用压电马达。此外，在驱动对象物时，为了使振动体不因凸部从对象物受到的反作用力而脱离，需要预先保持振动体。并且，必须以使凸部进行椭圆运动的方式允许振动体的振动。因此，提出了如下的技术，即、在使凸部突出的状态下将振动体收存于收纳壳体，在该收纳壳体内，从弯曲方向经由弹性部件而保持振动体的两侧，并且将收纳壳体连同振动体朝向对象物而施力(专利文献I)。专利文献1:日本特开平11-346486号公报然而，在所提出的技术中存在下述问题:难以将振动体所产生的机械能高效地用于对象物的驱动。这是因为从弯曲方向支承振动体的两侧，故振动体的振动容易经由收纳壳体而向外部传递，而传到外部的振动无法用于驱动对象物。
技术实现思路
本专利技术是为了解决现有技术所具有的上述课题的至少一部分而完成的，其目的在于提供一种能够高效地驱动对象物的压电马达。为了解决上述课题的至少一部分，本专利技术的压电马达采用如下的结构。该压电马达通过对含有压电材料的振动体施加电压而使该振动体产生弯曲振动,并且在上述振动体的端部设置的凸部与对象物接触，从而使上述对象物移动，该压电马达具备:电极，该电极形成于上述振动体的、朝向与设置有上述凸部的端部因上述振动体的弯曲振动而进行移动的弯曲方向交叉的方向的两个面，并被施加上述电压；电线，该电线被非导电性材料覆盖并对上述电极施加电压；接合部,该接合部将上述电极与上述电线电气接合；收纳壳体,该收纳壳体收纳上述振动体；以及支承部，该支承部被设置在上述振动体与上述收纳壳体之间，并且从与上述振动体的弯曲方向交叉的方向夹持上述振动体的设置有上述电极的两个面，其中，上述接合部设置于在上述振动体的上述电极与上述收纳壳体之间所产生的、上述支承部的厚度量的间隙，上述接合部的从上述电极起算的高度以及上述电线的外径比上述支承部的厚度小。在这样的本专利技术的压电马达中，若在形成于振动体的两个面的电极接合电线并施加电压，则振动体进行弯曲振动，所以通过使设置于振动体的端部的凸部与对象物接触，从而能够驱动对象物。而且，该振动体以被支承部从与振动体的弯曲方向交叉的方向夹持振动体的两侧(设置有电极的两个面)的状态收纳于收纳壳体。此外，将电极与电线接合的接合部设置于在振动体的电极与收纳壳体之间所产生的、支承部的厚度量的间隙，接合部的从电极起算的高度以及电线的外径比支承部的厚度小。若这样利用支承部从与弯曲方向交叉的方向夹持振动体的两侧而不是从振动体的弯曲方向夹持振动体的两侧，则在振动体进行弯曲振动时，支承部沿剪切方向变形，所以与从弯曲方向进行夹持的情况相比，能够抑制振动体的振动向收纳壳体传递。此外，能够以如下方式支承振动体，即，利用支承部沿剪切方向变形时的刚性承接在驱动对象物时振动体的凸部所受的反作用力，振动体不会因反作用力而脱离。其结果是，能够高效地驱动对象物。而且，利用支承部夹持与振动体的设置有电极的面相同的面，由此制约对电极的布线，在本专利技术的压电马达中，利用在振动体的电极与收纳壳体之间所产生的、支承部的厚度量的间隙，能够对电极进行布线。即，使接合部的从电极起算的高度及电线的外径比支承部的厚度小，将对电极的布线(接合部、电线)收存于振动体的电极与收纳壳体之间的间隙，由此在利用支承部从与振动体的弯曲方向交叉的方向夹持振动体的两侧(设置有电极的两个面)的方式中，能够确保对电极的布线。 在上述本专利技术的压电马达中，可以在弯曲振动的振幅比振动体的设置有凸部的端部、多个腹部小的多个节部的一部分的节部，使支承部夹持振动体，而在支承部不夹持的节部，使接合部与电极接合。若这样利用支承部夹持振动体的节部，则与夹持不同于节部的部分(设置有凸部的端部、腹部)的情况相比，能够使振动体的弯曲振动的振幅(凸部的移动量)增大，而不会增大振动体弯曲振动时支承部沿剪切方向变形的变形量，所以在驱动对象物方面是有利的。此外，若在不被支承部夹持的节部对电极进行布线(利用接合部接合电线)，则能够抑制布线妨碍振动体的弯曲振动。并且，能够抑制由于振动体的弯曲振动的影响而使布线脱离电极的情况，所以能够很好地确保稳定地对振动体施加电压的布线。此外，在上述本专利技术的压电马达中，可以利用非导线材料覆盖与电极相对的收纳壳体的内表面。这样，即使在收纳壳体产生歪斜等而使收纳壳体的内表面与电极、接合部发生了接触的情况下，也能够稳定地对振动体施加电压而不会漏电。此外，在上述本专利技术的压电马达中，在电极具有4个区域的情况下，将由连结部连接的第一区域和第二区域以含有连结部的方式一体形成，利用与连结部交叉的电线连接相对于连结部而配置于相互不同侧的第三区域和第四区域。在利用电线连接(由电线构成连结部)第一区域和第二区域的情况下，需要与连接第三领域和第四区域的电线立体交叉。与此相对，若将连接第一区域和第二区域的连结部与电极一体形成，则不需要使2根电线立体交叉，所以能够容易地将对电极的布线收存于在振动体的电极与收纳壳体间所产生的、支承部的厚度量的间隙。因此，在利用支承部从与振动体的弯曲方向交叉的方向夹持振动体的两侧(设置有电极的两个面)的方式中，能够很好地确保对电极的布线。此外，也可以使用上述本专利技术的压电马达构成驱动装置、印刷装置、机器人手、机器人等。本专利技术的压电马达是小型的且能够实现高驱动精度。因此，若使用本专利技术的压电马达构成驱动装置、印刷装置、机器人手、机器人等，则能够得到小型且高性能的驱动装置、印刷装置、机器人手、机器人等。此外，可以使用本专利技术的压电马达构成以下的电子部件检查装置。即，在将把持的电子部件装配于检查插座来检查上述电子部件的电特性的电子部件检查装置中，可以使用上述本专利技术的任意一个的压电马达来进行电子部件相对于检查插座的对位。如上所述，本专利技术的压电马达是小型的且能够实现高驱动精度，所以能够对电子部件进行高精度地对位，而且能够实现小型的电子部件检查装置。或者，能够以如下的方式应用本专利技术的电子部件检查装置。即，电子部件检查装置的特征在于，将所把持的电子部件装配于检查插座来检查上述电子部件的电特性，并且上述电子部件检查装置具备进行上述电子部件相对于上述检查插座的对位的压电马达，上述压电马达具备:振动体，该振动体含有压电材料而形成，并且在被施加电压时进行弯曲振动；凸部，该凸部设置于上述振动体的端部；电极，该电极形成于上述振动体的朝向与设置有上述凸部的端本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电马达，其特征在于，通过对含有压电材料的振动体施加电压而使该振动体产生弯曲振动，并且使在所述振动体的端部设置的凸部与对象物接触，从而使所述对象物移动，该压电马达具备：电极，该电极形成于所述振动体的、朝向与设置有所述凸部的端部因所述振动体的弯曲振动而进行移动的弯曲方向交叉的方向的两个面，并且被施加所述电压；电线，该电线被非导电性材料覆盖并对所述电极施加电压；接合部，该接合部将所述电极与所述电线电接合；收纳壳体，该收纳壳体收纳所述振动体；以及支承部，该支承部设置在所述振动体与所述收纳壳体之间，并且从与所述振动体的弯曲方向交叉的方向夹持所述振动体的设置有所述电极的两个面，其中，所述接合部设置于在所述振动体的所述电极与所述收纳壳体之间所产生的、所述支承部的厚度量的间隙，所述接合部的从所述电极起算的高度以及所述电线的外径比所述支承部的厚度小。

【技术特征摘要】
2011.12.06 JP 2011-2665521.一种压电马达，其特征在于， 通过对含有压电材料的振动体施加电压而使该振动体产生弯曲振动，并且使在所述振动体的端部设置的凸部与对象物接触，从而使所述对象物移动， 该压电马达具备: 电极，该电极形成于所述振动体的、朝向与设置有所述凸部的端部因所述振动体的弯曲振动而进行移动的弯曲方向交叉的方向的两个面，并且被施加所述电压； 电线，该电线被非导电性材料覆盖并对所述电极施加电压； 接合部，该接合部将所述电极与所述电线电接合； 收纳壳体，该收纳壳体收纳所述振动体；以及 支承部，该支承部设置在所述振动体与所述收纳壳体之间，并且从与所述振动体的弯曲方向交叉的方向夹持所述振动体的设置有所述电极的两个面，其中， 所述接合部设置于在所述振动体的所述电极与所述收纳壳体之间所产生的、所述支承部的厚度量的间隙， 所述接合部的从所述电极起算的高度以及所述电线的外径比所述支承部的厚度小。2.根据权利要求1所述的压电马达，其特征在于， 所述振动体具有:多个腹部，所述多个腹部的所述弯曲振动的振幅与设置有所述凸部的端部的所述弯曲振动的振幅相同；多个节部，所述多个节部的所述弯曲振动的振幅比所述腹部的所述弯曲振动的振幅小， 所述支承部通过 所述多个节部中的一部分节部与所述振动体接触， 所述接合部通过所述支承部不接触的任意的所述节部与所述电极接合。3.根据权利要求1或2所述的压电马达，其特征在于， 所述收纳壳体的与所述电极相对的内表面被非导电性材料覆盖。4.权利要求广3中的任意一项所述的压电马达，其特征在于， 所述电极具有: 第一区域和第二区域，所述第一区域和第二区域经由连结部而相互连接并与所述连结部一体形成； 第三区域和第四区域，所述第三区域和第四区域与所述第一区域和所述第二区域电隔绝地形成，并且相对于所述连结部配置在相互不同的一侧，其中 所述第三区域和所述第四区域通过与所述连结部交叉的所述电线而相互连接。5.一种驱动装置，其特征在于， 具备权利要求广4中的任意一项所述的压电马达。6.一种印刷装置，其特征在于， 具备权利要求广4中的任意一项所述的压电马达。7.一种机器人手，其特征在于， 具备权利要求广4中的任意一项所述的压电马达。8.—种机器人,其特征在于， 具备权利要求Γ4中的任意一项所述的压电马达、或者权利要求7所述的机器人手。9.一种电子部件检查装置，其特征在于， 所述电子部件检查装置将所把持的电子部件装配于检查插座来检查所述电子部件的电特性，并且 所述电子部件检查装置使用权利要求广4中的任意一项所述的压电马达进行所述电子部件相对于所述检查插座的对位。10.一种电子部件检查装置，其特征在于， 所述电子部件检查装置将所把持的电子部件装配于检查插座来检查所述电子部件的电特性，并且 所述电子部件检查装置具备进行所述电子部件相对于所述检查插座的对位的压电马达，其中 所述压电马达具备: 振动体，该振动体含有压电材料而形成，并且在被施加电压时进行弯曲振动； 凸部，该凸部设置于所述振动体的端部； 电极，该电极形成于所述振动体的、朝向与设置有所述凸部的端部因所述振动体的弯曲振动而进行移动的弯曲方向交叉的方向的两个面，并被施加所述电压； 电线，该电线被非导电性材料覆盖并对所述电极施加电压； 接合部，该接合部将所述电极与所述电线电接合； 收纳壳体，该收纳壳体收纳所述振动体；以及 支承部，该支承部设置在所述振动体与所述收纳壳体之间，并且从与所述振动体的弯曲方向交叉的方向夹持所述振动体的设置有所述电极的两个面，其中 所述接合部设置于在所述振动体的所述电极与所述收纳壳体之间所产生的、所述支承部的厚度量的间隙， 所述接合部的从所述电极起算的高度以及所述电线的外径比所述支承部的厚度小。11.一种电子部件检查装置，其特征在于，具备: 检查插座，该检查插座供电子部件装配，用于检查所述电子部件的电特性； 把持装置，该把持装置把持所述电子部件； 移动装置，该移动装置使所述把持装置在相互正交的第一轴和第二轴、以及与所述第一轴和所述第二轴正交的第三轴合计三个轴向上移动； 拍摄装置，该拍摄装置从所述检查插座观察设置于所述第一轴上或者所述第二轴上，针对装配于所述检查插座的所述电子部件，作为所述电子部件的姿势而检测所述第一轴和所述第二轴的方向上的位置以及绕所述第三轴的角度； 上...

【专利技术属性】
技术研发人员：水岛信幸，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：