激光干涉仪制造技术

本发明专利技术提供激光干涉仪，具备不使用衍射光栅就能够使激光发生频移的光调制器，实现了低成本化。该激光干涉仪其特征在于，具备：激光光源，向对象物射出激光；光调制器，具备被照射激光的振动元件，该光调制器使用振动元件对激光进行调制，使调制信号与激光重叠；受光元件，接收包括源自对象物的采样信号和调制信号的激光，并输出受光信号；解调电路，根据基准信号从受光信号解调采样信号；以及振荡电路，将振动元件作为信号源进行动作，并向解调电路输出基准信号，振动元件包括振动基板，振动基板具有基部和与基部连接的振动部，振动部沿振动基板的面内方向进行振动，振动部包括与面内方向交叉的侧面，激光照射到侧面。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及激光干涉仪。

技术介绍

1、专利文献1中公开了掌握运动中的物体的运动的激光多普勒测量装置。在激光多普勒测量装置中，向被测定物照射激光，根据受到多普勒频移的散射激光而对运动进行测量。具体而言，利用外差干涉得到激光的频率的偏移量，并根据该偏移量求出运动中的物体的速度、位移。

2、专利文献1所记载的激光多普勒测量装置具备移频器型的光调制器。该光调制器具备at切型石英振子和衍射光栅，at切型石英振子进行厚度剪切振动，衍射光栅包括沿该振子的位移方向并列设置的多个槽。在该光调制器中，厚度剪切振动是面内振动，也就是说在与入射的激光的入射方向交叉的方向上振动，因此难以使激光的频率偏移。换言之，为了高效地使激光的频率偏移，要求激光的入射波数矢量与出射波数矢量之差和at切型石英振子的振动矢量的内积足够大。但是，在仅使用at切型石英振子的情况下，该内积几乎为零。因此，在专利文献1所记载的光调制器中，将衍射光栅与at切型石英振子组合。该衍射光栅在与at切型石英振子的振动方向交叉的方向上具有槽。由此，振动矢量的方向被转换，能够使前述内积超过零，从而能够使激本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种激光干涉仪，其特征在于，具备：

2.根据权利要求1所述的激光干涉仪，其特征在于，

3.根据权利要求1或2所述的激光干涉仪，其特征在于，

4.根据权利要求1或2所述的激光干涉仪，其特征在于，

5.根据权利要求1或2所述的激光干涉仪，其特征在于，

6.根据权利要求1或2所述的激光干涉仪，其特征在于，

7.根据权利要求6所述的激光干涉仪，其特征在于，

8.根据权利要求7所述的激光干涉仪，其特征在于，

9.根据权利要求7所述的激光干涉仪，其特征在于，

10.根据权利要求1或2所述的...

【技术特征摘要】

1.一种激光干涉仪，其特征在于，具备：

2.根据权利要求1所述的激光干涉仪，其特征在于，

3.根据权利要求1或2所述的激光干涉仪，其特征在于，

4.根据权利要求1或2所述的激光干涉仪，其特征在于，

5.根据权利要求1或2所述的激光干涉仪，其特征在于，

【专利技术属性】
技术研发人员：山田耕平，松尾敦司，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：

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