蓝宝石单晶制造用冷却装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及蓝宝石单晶制造用冷却装置。本发明专利技术的蓝宝石单晶制造用冷却装置，其包括形成有位于内部底面固定有籽晶结晶的坩埚下部、向固定有籽晶结晶的部位供应冷媒的供应管，把冷却坩埚下部的冷媒排出的冷媒排出管的冷媒循环部；由连接冷媒供应管的入口和冷媒排出管出口的内部管，环抱所述内部管、内部有冷媒循环的外部管形成双重管结构的第1冷却部；内部形成有装放所述第1冷却部的冷却槽，填充有冷却水的第2冷却部。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及蓝宝石单晶制造用冷却装置，尤其涉及循环利用对坩埚内的籽晶进行冷却的冷媒，降低成本的同时，让冷却过程中的冷媒所受热冲击最小化，可防止冷媒体积、流量、速度急剧变化的蓝宝石单晶制造用冷却装置。
技术介绍
随着电子技术的日新月异，显示器领域对光学、物理性能优秀的蓝宝石单晶的需求急剧增长。以氧化铝单晶为主成分的蓝宝石单晶，其透光性和散热性优秀，是对这两项指标要求很高的背投电视或LCD模块基板的核心素材，还作为蓝色LED基板应用广泛。但蓝宝石在晶体结构上具有异相性，在长晶时容易发生裂纹，存在一些技术难关。为了得到大小和质量满足要求的蓝宝石单晶，业界对各种长晶方法进行不断研究。现有的长晶方法有焰熔法(Verneuil Method),布里奇曼法(Bridgman),定边膜喂法(EFG; Edge-Defined Film-Feed Growth),乔克拉尔斯基法(Czochralski Method),热交换法(HEM, Heat Exchange Method)。焰熔法让氧化铝粉末经过氧气-氢气火焰，使之熔化，把溶液滴到籽晶(Seed)上，并让结晶旋转下降，获得结晶。这一方法可以本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蓝宝石单晶制造用冷却装置，其特征在于：包括形成有位于内部底面固定有籽晶结晶的坩埚下部、向固定有籽晶结晶的部位供应冷媒的供应管，把冷却坩埚下部的冷媒排出的冷媒排出管的冷媒循环部；由连接冷媒供应管的入口和冷媒排出管出口的内部管，环抱所述?内部管、内部有冷媒循环的外部管形成双重管结构的第1冷却部；内部形成有装放所述第1冷却部的冷却槽，填充有冷却水的第2冷却部。

【技术特征摘要】
2011.09.29 KR 10-2011-00992231.一种蓝宝石单晶制造用冷却装置，其特征在于: 包括形成有位于内部底面固定有籽晶结晶的坩埚下部、向固定有籽晶结晶的部位供应冷媒的供应管，把冷却坩埚下部的冷媒排出的冷媒排出管的冷媒循环部；由连接冷媒供应管的入口和冷媒排出管出口的内部管，环抱所述内部管、内部有冷媒循环的外部管形成双重管结构的第I冷却部；内部形成有装放所述第I冷却部的冷却槽，填充有冷却水的第2冷却部。2.根据权利要求1所述的蓝宝石单晶制造用冷却装置，其特征在于: 冷媒供应管和冷媒排出管的连接部具有双重管结构，位于外侧的冷媒排...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴钟仁，金贤哲，李钟赞，
申请(专利权)人：BIEMT株式会社，BIAM株式会社，
类型：发明
国别省市：