一种大尺寸蓝宝石晶体生长方法技术

本发明专利技术涉及一种大尺寸蓝宝石晶体生长方法，工艺过程包括装料、热场组装、加热融化、引晶和生长、切离和降温，采用以重量变化率控制的功率调节系统，通过检测籽晶重量变化来控制加热系统输出功率，实现引晶和生长过程自动化。以重量变化率控制的功率调节系统，采用精度≤1g的称重系统并具有100W以下精确功率调节能力。本发明专利技术能生长出约为φ250×300的蓝宝石晶体，低位错密度，透光率高，适用于白光LED衬底的要求；引晶和生长过程为自动化控制过程，不需要人为干预。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属涉及一种蓝宝石晶体生长方法，具体为自动引晶和生长的大尺寸蓝宝石晶体生长方法。
技术介绍
蓝宝石是三氧化二铝的α相单晶，具有硬度高(莫氏9)、耐高温、那腐蚀，透光性优良。蓝宝石晶体广泛应用于半导体衬底、特种窗口等领域。特别是高亮度白光LED作为下一代通用照明器件，具有绿色节能等优点。蓝宝石衬底是氮化镓基白光LED的最主要衬底，市场的需求量巨大。蓝宝石晶体一般采用熔液中生长的方式制作，最主要的生长方式有泡生法、提拉法和坩埚下降法。以上方法生长的蓝宝石晶体一般由于气泡以及尺寸影响，在大尺寸蓝宝石衬底取料存在困难。对于蓝宝石晶体质量较优的泡生法，引晶难度非常大，对于人员依赖度大。同时晶体生长自动化水平较高的提拉法生产的晶体质量很难达到大尺寸蓝宝石衬底的要求。
技术实现思路
针对现有蓝宝石生长技术上的缺点，本专利技术的目的是提供一种具有较高自动化水平的大尺寸蓝宝石晶体生长方法。在蓝宝石晶体生长时，实现引晶和生长过程的自动化。本专利技术解决技术问题所采取的技术方案是，工艺过程包括装料、热场组装、加热融化、引晶和生长、切离和降温，其特征在于，采用以重量变化率控制的功率调节系统，通过检测籽晶重量变化来控制加热系统输出功率，实现引晶和生长过程自动化。 所述的以重量变化率控制的功率调节系统，采用精度< Ig的称重系统并具有 IOOff以下精确功率调节能力。所述的引晶和生长过程依次包括如下步骤(I)在熔液温度稳定达到5小时以上，以f 5mm/min的速度下降籽晶，在籽晶碰触液面后，所述称重系统进行“置零”操作，然后每IOlOmin检测一次籽晶重量增加量，并按照特定算法控制加热系统输出功率以10(T500W/h的变化率增加，直至籽晶重量不再增加；⑵保持加热系统输出功率不变，由于热惯性的存在，熔液表面温度将缓慢增加，籽晶重量将缓慢下降，所述称重系统检测籽晶重量，直至籽晶重量从新回到“零”位；⑶控制加热系统输出功率以10(T500W/h的变化率减小，同时籽晶以f 5mm/h的速度下降，籽晶重量将缓慢下降，所述称重系统检测籽晶重量，直至籽晶重量由下降变为增加； ⑷控制籽晶以f5mm/h的速度提升，所述称重系统检测籽晶重量变化率，功率调节系统按照重量变化率调整加热系统输出功率，控制重量增加在3(T50g/h，提升籽晶距离为 30 50_ ；(5)控制籽晶以O. rimm/h的速度提升，所述称重系统检测籽晶重量变化率，功率调节系统按照重量变化率调整加热系统输出功率，控制重量以15(T450g/mm增加，直到晶体重量达到预定目标。本专利技术大尺寸蓝宝石晶体生长方法具体工艺过程依次如下I装料将高纯度氧化铝原料放入真空环境中的钨、钥、铱坩埚中；II热场组装以钨金属电阻组成加热系统，并设置以重量变化率控制的功率调节系统；坩埚外采用钨钥薄板屏为保温系统；III加热融化加热系统对坩埚进行加热，经24h左右，坩埚内温度到2050°C以上，高纯氧化铝原料被融化为高温熔液；通过红外测温测试熔液表面温度，人工调整加热系统输出功率，控制熔液表面温度在2040°C 2060°C，并控制功率输出恒定以维持熔液表面温度；IV引晶和生长在熔液温度稳定达到5h以上时，全系统进入自动运行；(I)以f5mm/min的速度下降籽晶，在籽晶碰触液面后，所述称重系统进行“置零”操作，然后每1(Γ30分钟检测一次籽晶重量增加量，并按照特定算法控制加热系统输出功率以10(T500W/h的变化率增加，直至籽晶重量不再增加；⑵保持加热系统输出功率不变，由于热惯性的存在，熔液表面温度将缓慢增加，籽晶重量将缓慢下降，所述称重系统检测籽晶重量，直至籽晶重量从新回到“零”位；⑶控制加热系统输出功率以10(T500W/h的变化率减小，同时籽晶以广5mm/h的速度下降，籽晶重量将缓慢下降，所述称重系统检测籽晶重量，直至籽晶重量由下降变为增加； ⑷控制籽晶以f5mm/h的速度提升，所述称重系统检测籽晶重量变化率，功率调节系统按照重量变化率调整加热系统输出功率，控制重量增加在3(T50g/h，提升籽晶距离为 30 50_ ；(5)控制籽晶以O. rimm/h的速度提升，所述称重系统检测籽晶重量变化率，功率调节系统按照重量变化率调整加热系统输出功率，控制重量以15(T450g/mm增加，直到晶体重量达到预定目标；V切离人工操作籽晶轴快速移动，使晶体脱离坩锅内残存的熔液；VI降温缓慢降低输出功率，对晶体进行冷却处理。本专利技术中，引晶和生长过程IV为自动控制过程。本专利技术的实施具有显著的效果⑴生长出约为Φ250Χ300的蓝宝石晶体，低位错密度，透光率高，适用于白光LED衬底的要求；(2)引晶和生长过程为自动化控制过程，不需要人为干预。具体实施方式实施例⑴按照要求在坩埚内填入70kg高纯氧化铝原料，炉体进行真空处理。(2)以钨金属电阻组成加热系统，并设置以重量变化率控制的功率调节系统；坩埚外采用钨钥薄板屏为保温系统；⑶控制加热系统输出功率增加对坩埚进行加热，在24h左右使坩埚内温度到2050°C 以上，氧化铝原料融化为熔液；通过红外测温测试熔液表面温度，人工调整输出功率，控制熔液表面温度在2050°C，并控制功率输出恒定以维持熔液表面温度；⑷在熔液温度稳定达到5h以 上时，进入自动运行以f5mm/min的速度下降籽晶，在籽晶碰触液面后，所述称重系统进行“置零”操作， 然后每1(Γ30分钟检测一次籽晶重量增加量，并按照特定算法控制加热系统输出功率以 10(T500W/h的变化率增加，直至籽晶重量不再增加；保持加热系统输出功率不变，由于热惯性的存在，熔液表面温度将缓慢增加，籽晶重量将缓慢下降，所述称重系统检测籽晶重量，直至籽晶重量从新回到“零”位；控制加热系统输出功率以10(T500W/h的变化率减小，同时籽晶以r5mm/h的速度下降，籽晶重量将缓慢下降，所述称重系统检测籽晶重量，直至籽晶重量由下降变为增加； 控制籽晶以f5mm/h的速度提升，所述称重系统检测籽晶重量变化率，功率调节系统按照重量变化率调整加热系统输出功率，控制重量增加在3(T50g/h，提升籽晶距离为 30 50_ ；控制籽晶以O. rimm/h的速度提升，所述称重系统检测籽晶重量变化率，功率调节系统按照重量变化率调整加热系统输出功率，控制重量以15(T450g/mm增加，直到晶体重量达到预定目标；(5)人工操作籽晶轴快速移动，使晶体脱离坩锅内残存的熔液；(6)缓慢降低输出功率，对晶体进行冷却处理。本实施例生长出Φ 253 X 293的蓝宝石晶体，晶体重量68kg，肉眼观察没有明显的晶体缺陷。通过取料、切片、研磨和抛光，检测晶体 低位错密度360pit/cm2，200nnT4500nm 透光率高于80%。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大尺寸蓝宝石晶体生长方法，工艺过程包括装料、热场组装、加热融化、引晶和生长、切离和降温，其特征在于，采用以重量变化率控制的功率调节系统，通过检测籽晶重量变化来控制加热系统输出功率，实现引晶和生长过程自动化。

【技术特征摘要】
1.一种大尺寸蓝宝石晶体生长方法，工艺过程包括装料、热场组装、加热融化、引晶和生长、切离和降温，其特征在于，采用以重量变化率控制的功率调节系统，通过检测籽晶重量变化来控制加热系统输出功率，实现引晶和生长过程自动化。2.如权利要求1所述的大尺寸蓝宝石晶体生长方法，其特征在于所述的以重量变化率控制的功率调节系统，采用精度< Ig的称重系统并具有100W以下精确功率调节能力。3.如权利要求1或2所述的大尺寸蓝宝石晶体生长方法，其特征在于所述的引晶过程依次包括如下步骤(I)在熔液温度稳定达到5小时以上，以f 5mm/min的速度下降籽晶，在籽晶碰触液面后，所述称重系统进行“置零”操作，然后每1(Γ30分钟检测一次籽晶重量增加量，并按照特定算法控制加热系统输出功率以10(T500W/h的变化率增加，...

【专利技术属性】
技术研发人员：王勤峰，段金柱，马劲松，樊志远，蔡建华，徐秋峰，段斌斌，
申请(专利权)人：天通控股股份有限公司，
类型：发明
国别省市：