System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种盒装晶片的编码、缺陷识别系统及控制方法技术方案_技高网

一种盒装晶片的编码、缺陷识别系统及控制方法技术方案

技术编号:40087999 阅读:6 留言:0更新日期:2024-01-23 15:45
本发明专利技术公开了一种盒装晶片的编码、缺陷识别系统及控制方法,系统包括盒装晶片运送组件、晶片抬升旋转组件、图片拍摄组件、设备控制系统、图像识别系统和报警急停模块,盒装晶片运送组件、晶片抬升旋转组件、图片拍摄组件安装在设备平台上,设备控制系统与盒装晶片运送组件、晶片抬升旋转组件、图像识别系统分别电性连接,图像识别系统与图片拍摄组件连接,该系统的控制方法,包括以下步骤:开始、启动、晶片编码识别、晶片缺陷识别、图像判断;本发明专利技术为盒装晶片检测提供晶片编码识别、晶片缺陷识别、晶片编码校验及报警提示功能。此发明专利技术可实现不同尺寸晶片的编码、缺陷识别,有助于严格把控晶片高品质出货,节省成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及晶片材料制造,具体是涉及一种盒装晶片的编码、缺陷识别系统及控制方法


技术介绍

1、晶片的生产过程会经过多种工艺环节,在生产、加工过程中会存在缺角、划伤,流转过程中会出现磕碰和混乱不清,导致装盒后的晶片必须进行严格的缺陷检测及编码验证的问题。目前,行业内晶片装盒后人工检查晶片是否存在缺陷,过分依赖员工的技术水平和经验,多种外在因素会影响缺陷确认的准确度,并且在装盒后无法复核晶片的编码和缺陷,不能保证晶片装盒后的编码正确性和产品高品质要求。

2、为解决该问题,公开号为cn116797569a的专利,采用降噪滤波处理及图像形态学方法,对晶圆的缺陷进行检测,该专利提供了其公开的图像处理方法,但其系统结构整体过于简洁化,人工操作复杂,无法在实际生产环境中得到良好的运用效果。公开号为cn219915399u的专利,利用了相机拍摄晶圆表面图片的方法进行视觉检测,该专利技术只有表面识别方法,无晶片编码的识别系统,不能满足实际生产需求;其机构的运动方式需要人工操作,对现场人员的技术要求较高,且用标尺进行定位,导致移动件的操作精度低,容易把握不好取片部件的高度,导致取片部件存在撞片的风险,且检测过程中需要人工操作设备运行,人为不可逆因素易影响晶片品质;该专利技术需要将晶片全部取出晶片盒后进行拍摄,容易出现晶片掉落、磕碰等问题;该专利技术可检测的晶片尺寸局限于相机、镜头大小,不便于实现所有尺寸的晶片检测,若晶片过大则相机视野拍摄不全;该专利技术光源垂直照射晶片引起反光,影响缺陷检测效果。

3、因此,现需设计一种盒装晶片的编码、缺陷识别系统及控制方法。


技术实现思路

1、为解决上述技术问题,本专利技术提供了一种盒装晶片的编码、缺陷识别系统及控制方法。

2、本专利技术的技术方案是:一种盒装晶片的编码、缺陷识别系统及控制方法,包括用于运送晶片到达识别位置的盒装晶片运送组件、用于将晶片抬起并进行旋转的晶片抬升旋转组件、用于拍摄晶片编码及缺陷的图片拍摄组件、设备控制系统、图像识别系统和报警急停模块;

3、其中,盒装晶片运送组件、晶片抬升旋转组件、图片拍摄组件安装在底板上,设备控制系统与盒装晶片运送组件、晶片抬升旋转组件、图像识别系统分别电性连接,图像识别系统与图片拍摄组件连接;

4、其中,盒装晶片运送组件包括电机组件、滑轨组件和包装盒固定板,包装盒固定板安装在滑轨组件上,电机组件与滑轨组件中的滑轨连接,在电机控制下,包装盒固定板可在滑轨上移动,

5、其中,电机组件包括电机、电机座、联轴器,滑轨组件包括线性模组和模组滑轨,电机位于线性模组的一侧通过电机座固定;

6、其中,联轴器与电机、线性模组同轴连接,线性模组上设有模组滑轨,包装盒固定板安装在模组滑轨上;

7、联轴器的作用是将电机的主动轴和线性模组的从动轴牢固地联接起来一同旋转,从而带动包装盒固定板在线性模组上前后移动,联轴器可补偿两轴之间由于工作时的变形或热膨胀等原因导致的偏移风险问题,起到缓和冲击、吸振、防止电机过载的功能。

8、其中,晶片抬升旋转组件包括抬升气缸组件、旋转气缸组件、旋转支板、薄形空心杯马达、吸盘,抬升气缸组件与旋转气缸组件固定连接,旋转支板一端与旋转气缸组件连接,旋转支板另一端与薄形空心杯马达连接,吸盘设置在薄形空心杯马达上,在气缸调节作用下,旋转支板带动吸盘转至晶片间的间隙处,吸盘吸附晶片,薄形空心杯马达能够带动吸盘上的晶片进行360°旋转;

9、其中,抬升气缸组件包括抬升气缸、抬升气缸底座,旋转气缸组件包括旋转气缸、旋转气缸固定板,抬升气缸底座安装在底板上,抬升气缸安装在抬升气缸底座的上方,抬升气缸与旋转气缸通过旋转气缸固定板连接;

10、通过操作旋转气缸使得旋转支板带动吸盘向盒内晶片间的间隔处旋转,使吸盘圆心与晶片圆心同轴,利用压缩空气使吸盘吸附晶片,抬升气缸将旋转气缸抬起,带动晶片上升,将晶片的部分表面露出盒外,避免其他晶片对需识别晶片的遮挡干扰,有助于更好的拍摄晶片图片;

11、通过吸盘与晶片同轴吸附,同时设置了薄形空心杯马达刚好可以进入晶片间的间隙空间,使得薄形空心杯马达能够带动吸盘使晶片进行360°旋转,从而可以完整的拍摄到晶片所有的部位,全面性的进行缺陷拍摄识别;

12、优选的,吸盘采用聚醚醚酮树脂材质,旋转支板采用铝板材质;

13、吸盘采用聚醚醚酮树脂材质,具有耐高温、耐腐蚀、抗老化、耐磨损、抗静电电绝缘性能好、加工精度高等优异性能,可以稳定的吸附晶片表面,却不损伤晶片;旋转支板采用铝板材质,铝板具有重量轻、结构性强的优点,同时易于加工。

14、其中,图片拍摄组件包括相机、条形光源、相机支架、光源支架和光源支板,底板上设有相机支架和光源支架,相机通过螺丝固定在相机支架上,相机可移动调节高度位置;光源支板上安装有条形光源,光源支板与光源支架通过螺丝连接,光源支板可移动调节高度位置、可旋转调节光源角度,旋转范围为360°;

15、优选的,相机为ccd相机;

16、优选的,底板上部设有部件的外壳;

17、通过设置外壳,保护外壳内部有晶片运送组件、晶片抬升组件和图片拍摄组件,还可以保护人体不被部件伤害,避免人为的触碰或损坏部件,影响部件精度,同时外壳可以使内部晶片的图片拍摄环境效果稳定,从而不会被外界的太阳光、灯光等光源所影响,更好的识别晶片编码和缺陷。

18、其中,设备控制系统包括直流电源模块、控制器和电机驱动模块,由直流电源模块供电,控制器与电机驱动模块电性连接;

19、其中,直流电源模块将220v电压转换成24v电压给控制器和电机驱动模块供电,控制器与电机驱动模块电性连接,将电机的使能脉冲由控制器发送给电机驱动模块;

20、其中,设备控制系统连接报警急停模块,报警急停模块的信号输入端与控制器的信号输出端连接,底板上设有报警灯,报警急停模块的信号输出端与报警灯的信号输入端连接。

21、其中,图像识别系统包括显示模块、数据处理模块、储存模块,数据处理模块包括用于识别晶片编码的编码识别模块以及识别晶片缺陷的缺陷识别模块;

22、其中,数据处理模块的信号输入端与相机的信号输出端连接,数据处理模块的信号输出端分别与显示模块、储存模块的信号输入端连接;

23、通过设置数据处理模块,使得晶片的编码能够被采集并与晶片缺陷进行相互绑定,快速的判断出不同编码晶片的缺陷类型,并储存信息,便于对晶片进行分类整理,

24、当图像识别系统判定晶片的编码不在系统编码库内,或晶片编码与之前识别的编码相同,或晶片存在缺陷时,设备控制系统控制报警急停模块启动,进行报警及停机,避免不合格晶片继续流出。

25、本专利技术通过设置晶片运送组件、晶片抬升旋转组件、图片拍摄组件、设备控制系统、图像识别系统和报警急停模块,能够拍摄识别晶片的编码和包装盒进行绑定,保存晶片编码、顺序以及绑定信息,同时对每一张晶片上本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种盒装晶片的编码、缺陷识别系统,包括盒装晶片运送组件、晶片抬升旋转组件、图片拍摄组件、设备控制系统、图像识别系统和报警急停模块,盒装晶片运送组件、晶片抬升旋转组件、图片拍摄组件安装在底板上,设备控制系统与盒装晶片运送组件、晶片抬升旋转组件、图像识别系统分别电性连接,图像识别系统与图片拍摄组件连接;

2.根据权利要求1所述的一种盒装晶片的编码、缺陷识别系统,其特征在于,所述电机组件包括电机、电机座、联轴器,所述滑轨组件包括线性模组和模组滑轨,电机位于线性模组的一侧通过电机座固定;联轴器与电机、线性模组同轴连接,线性模组上设有模组滑轨,包装盒固定板安装在模组滑轨上。

3.根据权利要求1所述的一种盒装晶片的编码、缺陷识别系统,其特征在于,所述抬升气缸组件包括抬升气缸、抬升气缸底座,所述旋转气缸组件包括旋转气缸、旋转气缸固定板,抬升气缸底座安装在底板上,抬升气缸安装在抬升气缸底座的上方,抬升气缸与旋转气缸通过旋转气缸固定板连接。

4.根据权利要求1所述的一种盒装晶片的编码、缺陷识别系统,其特征在于,所述吸盘采用聚醚醚酮树脂材质,旋转支板采用铝板材质,相机为CCD相机。

5.根据权利要求1所述的一种盒装晶片的编码、缺陷识别系统,其特征在于,所述直流电源模块将220V电压转换成24V电压给控制器和电机驱动模块供电,控制器与电机驱动模块电性连接,将电机的使能脉冲由控制器发送给电机驱动模块。

6.根据权利要求1所述的一种盒装晶片的编码、缺陷识别系统,其特征在于,所述报警急停模块的信号输入端与控制器的信号输出端连接,底板上设有报警灯,报警急停模块的信号输出端与报警灯的信号输入端连接。

7.根据权利要求1所述的一种盒装晶片的编码、缺陷识别系统,其特征在于,所述数据处理模块的信号输入端与相机的信号输出端连接,数据处理模块的信号输出端分别与显示模块、储存模块的信号输入端连接。

8.根据权利要求1-7任一所述的一种盒装晶片的编码、缺陷识别系统,其特征在于,所述底板上部设有部件的外壳,外壳内部有晶片运送组件、晶片抬升组件和图片拍摄组件。

9.权利要求1所述系统的控制方法,其特征在于,包括以下步骤:

10.根据权利要求9所述的控制方法,其特征在于,所述步骤S1中,调试光源和相机位置的方法是:根据晶片的尺寸,通过改变相机支架上的螺丝孔位和光源支架上的螺丝孔位,从而改变相机和光源的高度位置;根据晶片的尺寸,通过旋转光源支板,调节光源的照射角度,实现光源不同补光角度的调整,光源支板旋转范围为360°。

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【技术特征摘要】

1.一种盒装晶片的编码、缺陷识别系统,包括盒装晶片运送组件、晶片抬升旋转组件、图片拍摄组件、设备控制系统、图像识别系统和报警急停模块,盒装晶片运送组件、晶片抬升旋转组件、图片拍摄组件安装在底板上,设备控制系统与盒装晶片运送组件、晶片抬升旋转组件、图像识别系统分别电性连接,图像识别系统与图片拍摄组件连接;

2.根据权利要求1所述的一种盒装晶片的编码、缺陷识别系统,其特征在于,所述电机组件包括电机、电机座、联轴器,所述滑轨组件包括线性模组和模组滑轨,电机位于线性模组的一侧通过电机座固定;联轴器与电机、线性模组同轴连接,线性模组上设有模组滑轨,包装盒固定板安装在模组滑轨上。

3.根据权利要求1所述的一种盒装晶片的编码、缺陷识别系统,其特征在于,所述抬升气缸组件包括抬升气缸、抬升气缸底座,所述旋转气缸组件包括旋转气缸、旋转气缸固定板,抬升气缸底座安装在底板上,抬升气缸安装在抬升气缸底座的上方,抬升气缸与旋转气缸通过旋转气缸固定板连接。

4.根据权利要求1所述的一种盒装晶片的编码、缺陷识别系统,其特征在于,所述吸盘采用聚醚醚酮树脂材质,旋转支板采用铝板材质,相机为ccd相机。

5.根据权利要求1所述的一种盒装晶片的编码、缺陷识别系统,其特征在于,所述直流...

【专利技术属性】
技术研发人员:康森石天虎滕斌徐伟同徐世宁鲁雅荣王晨
申请(专利权)人:天通控股股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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