【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于蓝宝石晶体,具体涉及一种基于自动填料的大尺寸蓝宝石晶体生长方法。
技术介绍
1、工业蓝宝石是现代工业重要的基础材料,主要成分为氧化铝,熔点高达2050℃,硬度仅次于金刚石,因为具有耐高温、硬度高、透光率好等特性,所以广泛应用于led、半导体、消费电子、仪器仪表、国防军工、航空航天等领域。目前国内的蓝宝石晶体生长的填料过程还是以人工化为主,存在费时费力,安全性不高等缺点。这主要跟使用的高纯氧化铝块状原料形状不规则、密度不高有关,所以受原料制约,很难实现自动化填料。同时原料不规则、人工填料、填完原料上表层相对于坩埚的位置较高、升温速率过快均容易导致填料空心堆垛引发化料喷料的问题。
2、公开号为cn106987902a的专利技术专利,原料装炉为手工操作过程,采用块料和细料两种规格原料,原料预处理和填料过程对人的依赖性大,人为因素带入微量杂质的可能性很大,填料过程耗时久。公开号为cn104109904a的专利技术专利,原料升温融化过程为一段式升温方式,高真空升温,真空泵长时间运行,不能完全保证真空度的稳定性,晶体质量容
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1.一种基于自动填料的大尺寸蓝宝石晶体生长方法,其特征在于,工艺流程如下:
2.如权利要求1所述的一种基于自动填料的大尺寸蓝宝石晶体生长方法,其特征在于,所述步骤1中,氧化铝饼料可以是扇形或方形形状,通过水平拼接和竖直层叠码放在坩埚中。
3.如权利要求2所述的一种基于自动填料的大尺寸蓝宝石晶体生长方法,其特征在于,所述同种形状的氧化铝饼料具有A、B两种型号,A型号厚度在80-120mm,B型号厚度在30-60mm,其他无差异,搭配A、B两种不同厚度的料,便于填料高度的控制。
4.如权利要求3所述的一种基于自动填料的大尺寸蓝宝石晶体生
...【技术特征摘要】
1.一种基于自动填料的大尺寸蓝宝石晶体生长方法,其特征在于,工艺流程如下:
2.如权利要求1所述的一种基于自动填料的大尺寸蓝宝石晶体生长方法,其特征在于,所述步骤1中,氧化铝饼料可以是扇形或方形形状,通过水平拼接和竖直层叠码放在坩埚中。
3.如权利要求2所述的一种基于自动填料的大尺寸蓝宝石晶体生长方法,其特征在于,所述同种形状的氧化铝饼料具有a、b两种型号,a型号厚度在80-120mm,b型号厚度在30-60mm,其他无差异,搭配a、b两种不同厚度的料,便于填料高度的控制。
4.如权利要求3所述的一种基于自动填料的大尺寸蓝宝石晶体生长方法,其特征在于,所述氧化铝饼料尺寸大小跟坩埚半径相关,若为直角扇形饼料,则其半径比坩埚半径小15-60mm,外圈均匀分布4-6个小槽,密度为2.75-3.08g/cm3;若为方形饼料,则其边长比0.71倍的坩埚半径小2-20mm,外圈分布3-6个小槽,密度为2.80-3.15g/cm3。
5.如权利要求1所述的一种基于自动填料的大尺寸蓝宝石晶体生长方法,其特征在于,所述步骤1中,用于自动填料的细料最大径≤3mm,装填密度≥2.2 g/cm3。
6.如权利要求1-5任一所述的一种基于自动填料的大尺寸蓝宝石晶体生长方法,其特征在于,所述步骤1中,自动填料系统根据坩埚内部空间大小和填料重量,自动匹配出饼料和细料的填料重量。
7.如权利要求1-5任一所述的一...
【专利技术属性】
技术研发人员:康森,石天虎,李璐,鲁雅荣,滕斌,郝文娟,梁鑫,杨博,
申请(专利权)人:天通控股股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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