下载蓝宝石单晶制造用冷却装置的技术资料

文档序号:8797923

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及蓝宝石单晶制造用冷却装置。本发明的蓝宝石单晶制造用冷却装置,其包括形成有位于内部底面固定有籽晶结晶的坩埚下部、向固定有籽晶结晶的部位供应冷媒的供应管,把冷却坩埚下部的冷媒排出的冷媒排出管的冷媒循环部;由连接冷媒供应管的入口和冷媒排...
该专利属于BIEMT株式会社;BIAM株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过BIEMT株式会社;BIAM株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。