一种通用型OLED基片样品架制造技术

本发明专利技术涉及一种通用型OLED基片样品架，一对外形对称的长方体支架臂分别固定在基座上，基座的距离与放置的基片配套，在对称的长方体支架臂相对的一侧，开有一对对称的矩形凹槽和一对对称的圆弧形凹槽，对称的矩形凹槽和对称的圆弧形凹槽分别形成容纳两种基片的大矩形凹槽和正圆形凹槽，矩形凹槽和圆弧形凹槽的深度均大于所装基片厚度，由对称的圆弧形凹槽形成的正圆形直径大于由对称的矩形凹槽所形成的大矩形凹槽的宽度，而且大矩形凹槽的对角线长度大于正圆形凹槽的直径。该通用样品架兼容形玻璃基板和硅基基板的尺寸。从而避免了制备和更新样品架带来的物料与时间损失，并且使得更换样品架导致的腔内真空度破坏和意外的机械结构损耗得以避免。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种样品架，特别涉及一种用于在OLED真空蒸镀系统的装卸以及工艺腔体中，支撑OLED基片的通用型样品架。
技术介绍
在制备OLED的真空蒸镀系统中，在每一个工艺腔和装卸腔内，完成每一个工艺步骤都需要支撑/固定OLED基片的合适样品架。通常情况下，一个尺寸的样品架，只能支撑一种外形尺寸的基片。如果基片的外形尺寸与样品架可容纳的基片的外形尺寸不相符，则或者更换基片重新加工，或者更换全套真空腔体中的样品架以符合新基片的外形尺寸。目前，OLED基片主要分两大类:一类是通过真空沉积/旋涂/光刻等工艺加工得到的AM/PM驱动的玻璃基片，通常是矩形的；另一类是在硅晶片上，用掺杂/光刻工艺得到的硅基片，通常是圆形的。两种基片的外形是完全不同的。而现有技术，如图1、2所示，是在一对对称的支架臂的相对一侧各开一条凹槽(通常是矩形槽，也可以是圆弧形槽)，D为支架臂的厚度。只有一种凹槽的样品架无法兼容两种外形尺寸完全不同的基片。故而随着样品基片的变更，必须要随之调整装卸真空腔和工艺真空腔中的样品架。这通常需要对真空腔体进行开腔破真空，从而影响真空蒸镀系统的真空度，在更换样品架后，恢复腔体的真本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种通用型OLED基片样品架，包括一对外形对称的长方体支架臂，一对支架臂分别固定在基座上，基座的距离与放置的基片配套，其特征在于，在对称的长方体支架臂相对的一侧，开有一对对称的矩形凹槽和一对对称的圆弧形凹槽，对称的矩形凹槽和对称的圆弧形凹槽分别形成容纳两种基片的大矩形凹槽和正圆形凹槽，支架臂上的矩形凹槽和圆弧形凹槽的深度均小于支架臂厚度的2/3，矩形凹槽和圆弧形凹槽的深度均大于所装基片厚度，由对称的圆弧形凹槽形成的正圆形直径大于由对称的矩形凹槽所形成的大矩形凹槽的宽度，而且大矩形凹槽的对角线长度大于正圆形凹槽的直径。

【技术特征摘要】
1.一种通用型OLED基片样品架，包括一对外形对称的长方体支架臂，一对支架臂分别固定在基座上，基座的距离与放置的基片配套，其特征在于，在对称的长方体支架臂相对的一侧，开有一对对称的矩形凹槽和一对对称的圆弧形凹槽，对称的矩形凹槽和对称的圆弧形凹槽分别形成容纳两种基片的大矩形凹槽和正圆形凹槽，支架臂上的矩形凹槽和圆弧形凹槽的深度均小于支架臂厚度的2/3，矩形凹槽和圆弧形凹槽的深度均大于所装基片厚度，由对称...

【专利技术属性】
技术研发人员：李诺，刘畅，余峰，
申请(专利权)人：上海广电电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：