去除有机硅中金属离子的方法技术

技术编号:8796549 阅读:321 留言:0更新日期:2013-06-13 03:01
本发明专利技术提供一种去除有机硅中金属离子的方法。根据本发明专利技术的方法,先将待提纯的有机硅与预定比例的金属络合剂混合形成混合物,随后再将所述混合物预热后进行精馏,并将精馏后的轻组分冷凝以获得高纯有机硅,由此可有效去除有机硅,尤其是环聚硅氧烷中K,Na等金属离子,使环聚硅氧烷中金属杂质含量达到CMOS级。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及化学品的生产工艺领域,特别是涉及一种。
技术介绍
高纯硅氧烷在电子工业中应用广泛,其提纯过程主要包括有机杂质、金属离子、及固体微粒的去除。其中,金属离子的去除难度较大。尤其是用于高端芯片的硅氧烷,其金属离子含量要求控制在IOppb以内。例如,在专利号为US20050054211A1的美国专利文献中,公开了一种采用吸收塔来提纯有机硅的方法及系统,其通过吸收塔内的吸附物质来吸附液态有机硅(包括环聚硅氧烷,如八甲基环四硅氧烷)中有机杂质及金属离子,由此来提纯有机硅;而且,为了提高纯度,还可通过过滤单元来进一步过滤有机硅中的杂质等。又例如,在专利号为US007879198B2的美国专利文献中,公开了一种采用精馏塔来提纯有机硅的系统及方法。上述该些方法虽然工艺简单,设备投资适中,但无法满足电子级高纯硅氧烷对金属离子含量的要求,尤其对环聚硅氧烷体系,如,八甲基环四硅氧烷等。因为环聚硅氧烷独特的结构与S1-ο键的负离子性使其易于与K+,Na+离子络合,故而通过精馏等难以完全有效除去金属离子。为此,在专利号为US005312947A的美国专利文献中,公开了采用增加离子晶体平均尺寸后再本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种去除有机硅中金属离子的方法,其特征在于,所述去除有机硅中金属离子的方法至少包括:1)将待提纯的有机硅与预定比例的金属络合剂混合形成混合物;2)将所述混合物预热后进行精馏,并将精馏后的轻组分冷凝以获得高纯有机硅。

【技术特征摘要】
1.一种去除有机娃中金属离子的方法,其特征在于,所述去除有机娃中金属离子的方法至少包括: 1)将待提纯的有机硅与预定比例的金属络合剂混合形成混合物; 2)将所述混合物预热后进行精馏,并将精馏后的轻组分冷凝以获得高纯有机硅。2.根据权利要求1所述的去除有机硅中金属离子的方法,其特征在于:所述金属络合剂包括冠醚及其衍生物。3.根据权利要求1所述的去除有机硅中金属离子的方法,其特征在于:所述金属络合剂包括氧桥氮杂环杯香烃及...

【专利技术属性】
技术研发人员:徐志国杜丽萍袁京胡文敬张黎明王万军姜标
申请(专利权)人:上海中科高等研究院上海爱默金山药业有限公司
类型:发明
国别省市:

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