一种硅基光波导集成光电探测器制造技术

本发明专利技术公开的一种硅基光波导集成光电探测器。叠在第一硅衬底上的第一平板波导和第一脊型波导，第一平板波导上的多排通孔分布在第一脊型波导两侧，多排通孔下方的第一硅衬底有空腔，形成隔离衬底泄漏的空气隔离区，构成无源输入光波导；叠在第二硅衬底上的第二平板波导和第二脊型波导，第二平板波导上的两个开孔分布在第二脊型波导两侧，以及位于开孔内且与第二硅衬底接触的金属电极，构成有源光吸收区域；无源输入光波导和有源光吸收区域通过对准的第一脊型波导、第二脊型波导相连接。本发明专利技术仅需要简单的光波导结构，便于与其他集成光波导器件集成、易于扩展实现阵列化，有利于实现集成化、小型化、便携式、低成本的光电探测接收系统。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种光电探测器，尤其是涉及一种硅基光波导集成光电探测器。
技术介绍
在药物开发、环境监测、食品安全检测等领域，可靠的测试手段不可缺少，而传感技术正是其核心技术。利用先进传感技术，可以对物质成分/浓度等进行实行定性或定量分析。光学传感是传感技术的重要分支，其基本原理是:当被测物质与光场作用时，导致光信号某些参量(如强度、波长、相位、偏振态、模式分布等)的变化。在众多不同形式的光学传感器中，集成光波导传感器是目前最受关注的一种类型。对于一个集成光波导传感系统，光波导传感单元和光电探测器是必不可少的部件。光波导传感单元的作用是将被测物理量(如液体或气体浓度)的变化量转化为光学参量(如谐振波长、光强度)的变化，通常采用谐振或干涉原理，如各种微腔结构、马赫-泽德干涉仪(MZI)等。而光电探测器的作用是光波导传感单元所产生的光信号转化为电信号，以便进行后续的信号处理。对于可见光及近红外波段，硅基光电探测器是一个很好的选择，其结构包含无源输入光波导、光吸收区域两部分。为了提高集成光波导传感系统可靠性，可将光波导传感单元和光电探测器的无源输入光波导相连接，从而使光波导传感单元和光电探本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅基光波导集成光电探测器，其特征在于：包括无源输入光波导(1)?和有源光吸收区域（2）；其中：无源输入光波导（1）：包括第一硅衬底（11），叠在第一硅衬底上的第一平板波导（12），叠在第一平板波导上的第一脊型波导（13），第一平板波导（12）上的多排通孔（14）分布在第一脊型波导（13）两侧，多排通孔（14）下方的第一硅衬底有空腔，在第一平板波导与第一硅衬底之间形成隔离衬底泄漏的空气隔离区（15）；有源光吸收区域（2）：包括第二硅衬底（21），叠在第二硅衬底上的第二平板波导（22），叠加于第二平板波导上的第二脊型波导（23），第二平板波导（22）上的两个开孔（25）分布在第二脊型波导（23...

【技术特征摘要】
1.一种娃基光波导集成光电探测器，其特征在于:包括无源输入光波导(I)和有源光吸收区域(2);其中: 无源输入光波导(I):包括第一硅衬底(11 )，叠在第一硅衬底上的第一平板波导(12)，叠在第一平板波导上的第一脊型波导(13)，第一平板波导(12)上的多排通孔(14)分布在第一脊型波导(13)两侧，多排通孔(14)下方的第一硅衬底有空腔，在第一平板波导与第一硅衬底之间形成隔离衬底泄漏的空气隔离区(15)； 有源光吸收区域(2):包括第二硅衬底(21)，叠在第二硅衬底上的第二平板波导(22)，叠加于第二平板波导上的第二脊型波导(23)，第二平板波导(22)上的两个开孔(25)分布在第二脊型波...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴道锌，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：