温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开的一种硅基光波导集成光电探测器。叠在第一硅衬底上的第一平板波导和第一脊型波导，第一平板波导上的多排通孔分布在第一脊型波导两侧，多排通孔下方的第一硅衬底有空腔，形成隔离衬底泄漏的空气隔离区，构成无源输入光波导；叠在第二硅衬底上的第二...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。