【技术实现步骤摘要】
一种用于测量物体表面形貌的系统
本技术涉及激光光学成像技术，尤其涉及一种新型的非接触式测量物体表面形貌的系统。
技术介绍
针对激光无损切割、激光表面喷涂、激光表面毛化与抛光、特种合金焊接等新兴技术的检测和评估，图像分析、数据处理等技术的要求不断提高，材料表面形貌的检测技术也发生了根本性的变化。不但从最初的二维轮廓界面的测量评定发展到定量化三维表面形貌的测量评定，而且从传统的对平面表面形貌的测量评定，发展到对曲面表面形貌的测量评定。然而，大多数传统形貌测量仪器由于本身在设计方案上的局限性，无法兼顾时间分辨率和空间分辨率。高分辨、快响应的显微成像检测技术亟待发展。目前国内外适用于材料表面形貌成像测量的仪器多数采用的是接触式测量方式，利用探针或是探珠直接接触物体表面，获取其表面凹凸形貌信息。这类触针式测量仪的好处在于其成像直观可靠、操作简单、通用性强，但被测表面易被触针划伤而使测量数据失真，触针磨损也会引起横向分辨率降低从而导致测量结果不准确；同时，受触针尖端圆弧半径的影响，触针难以测出高质量表面的实际轮廓谷底，从而降低了测量精度。通常这种接触式形貌测量仪的精度...
【技术保护点】
一种用于测量物体表面形貌的系统，其特征在于包括发射端光梳（1）、光学色散元件（2）、显微物镜（3）、二维纳米移动平台（4）、二维精密纳米移动电机（5）、本地振荡光梳（6）、光电探测器（7）、半透半反镜（8），所述发射端光梳（1）产生探测光束依次射向光学色散元件（2）、半透半反镜（8）、显微物镜（3）和放置在二维纳米移动平台（4）上的被测物体，所述探测光束经被测物体反射，沿原光路返回再射向半透半反镜（8），半透半反镜（8）将反射回来的探测光束反射射向光电探测器（7），所述本地振荡光梳（6）用于产生参考光束，所述参考光束经过半透半反镜（8）与反射回来的探测光束一起射向光电探测器（7）。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：梁崇智，曾和平，闫明，
申请(专利权)人：广东汉唐量子光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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