非球面面形的检测方法技术

一种非球面面形的检测方法，该方法包括以下步骤：根据待测非球面制作与之匹配的反射补偿镜；在移相干涉仪输出光束方向依次放入标准镜、待测非球面和反射补偿镜；调整光路；调整所述的待测非球面和所述的反射补偿镜之间的距离获得完整清晰的干涉条纹，利用所述的移相干涉仪检测干涉条纹，从而得到所述的待测非球面的面形信息。本发明专利技术具有操作简单，易于实现大口径非球面面形检测等优点。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种非球面的面形检测方法，其特征在于该方法包括下列步骤：①根据待测非球面（3）制作与之匹配的反射补偿镜（4）：利用光学设计软件优化设计出所述的反射补偿镜（4）的参数，使得透过所述的待测非球面（3）的光束经所述的反射补偿镜（4）反射后原路返回，利用所述的反射补偿镜（4）的参数在金刚石车床上加工所述的反射补偿镜（4）；②在移相干涉仪（1）输出光束方向依次放入标准镜（2）、待测非球面（3）和反射补偿镜（4）；③调整光路：调整所述的标准镜（2）的中轴与所述的移相干涉仪（1）出射的平行光束的光轴重合；调整所述的待测非球面（3）的中轴与移相干涉仪（1）出射光束的光轴重合；调整所述的反射补偿镜（4），使所述的反射补偿镜（4）竖直放入光路中，所述的移相干涉仪（1）出射的光束经所述的标准镜（2）形成测量光束，经所述的标准镜（2）返回的光束称为参考光束；所述的测量光束透过所述的待测非球面（3）再经所述的反射补偿镜（4）反射沿原路返回，该原路返回的测量光束与标准镜（2）返回的参考光束在所述的移相干涉仪（1）中产生干涉条纹；④调整所述的待测非球面（3）和所述的反射补偿镜（4）之间的距离获得完整清晰的干涉条纹，利用所述的移相干涉仪（1）检测干涉条纹，从而得到所述的待测非球面（3）的面形信息。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨宝喜，袁乔，曾爱军，李璟，陈明，黄惠杰，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：