下载一种用于测量物体表面形貌的系统的技术资料

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本实用新型公开了一种用于测量物体表面形貌的系统,包括发射端光梳(1)、光学色散元件(2)、显微物镜(3)、二维纳米移动平台(4)、二维精密纳米移动电机(5)、本地振荡光梳(6)、光电探测器(7)、半透半反镜(8),所述发射端光梳(1)产生探...
该专利属于广东汉唐量子光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东汉唐量子光电科技有限公司授权不得商用。

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