【技术实现步骤摘要】
基板输送系统
本技术涉及一种基板输送系统，尤指一种可避免处理液体泄漏的基板输送系统。
技术介绍
在例如PCB (印刷电路板)、FPD (平板显示器)、PV(光能电池)等的现代高科技产业中，其产物结构可包括一薄片形且具有弹性的软性基板。在PCB产业中，该软性基板可凭借化学前处理流程、显影/蚀刻/剥膜流程、水平除胶渣及镀铜流程、水平棕化流程及水平化学银流程而形成。上述软性基板处理流程的处理方式包括浸泡式及喷淋式，其中，浸泡式在一处理槽内设有化学处理液体，凭借滚轮装置将软性基板送入处理槽内，由化学处理液体对软性基板进行化学处理，再由滚轮装置将化学反应完成的软性基板送出处理槽。而喷淋式将软性基板送入一处理室，利用喷洒方式将化学处理液体喷洒于软性基板进行化学处理，再由滚轮装置将化学反应完成的软性基板送出处理室。然无论采取何种方式，当软性基板被送出处理槽或处理室时，都会夹带着化学处理液体，不仅造成化学处理液体的浪费，同时也会污染滚轮装置、输送系统以及环境。此外，在中国台湾新型专利M363073所述的一种现有蚀刻设备中，其在一浸泡槽的入口及出口分别设有一入料浮动轮以及一...
【技术保护点】
一种基板输送系统，其特征在于，包含：一处理段，位于一第一高度；一输入段，其具有相对的一第一端及一第二端，该第一端位于一第二高度，该第二高度高于该第一高度，该第二端与该处理段的其中一端串联，该输入段提供一基板，该基板被传输进入该处理段；以及一输出段，其具有相对的一第三端及一第四端，该第三端与该处理段相对于连接该输入段的一端串联，该第四端位于一第三高度，该第三高度高于该第一高度，该基板由该处理段传输进入该输出段。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈麒文，詹前洋，
申请(专利权)人：亚智科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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