【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种纳米级位置定位装置。
技术介绍
随着科学技术的快速发展，在超精密加工、纳米技术等领域，迫切需要纳米级位置定位装置。因压电陶瓷具有较好的微位移特性和可控性，故以压电陶瓷为驱动器的基于弹性铰链支撑的微位移定位机构，是当前在微位移定位领域用得最多的一种，但它存在二方面的缺点，一是刚度不够，二是频响太慢，如果提高频响，将会影响刚度和定位精度；超磁致伸缩材料因性能重复性好，一般用作换能器，其定位精度在10-1μm左右，如果要求实现这一定位精度或者更高的，必须考虑超磁致伸缩材料被驱动时线圈和超磁致伸缩材料的发热，只有具备严格的热位移补偿措施，才能达到规定的精度要求。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种纳米级位置定位装置。它具有恒温室，在恒温室内设有粗级定位装置和纳米级定位装置，粗级定位装置为滚珠丝杆，纳米级定位装置具有工作腔壳体，在工作腔内设有变形体，变形体两侧设有变形体支撑块，变形体支撑块两侧和变形体一端分别设有隔热板，在变形体上设有感知器，在变形体一端设有位移感知器，在变形体支撑块上设有两调温管道，在两调温管道一端设有调温器。本技术的优点是1)变形体的热位移...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
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