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纳米级位置定位装置，其特征在于它具有恒温室［１］，在恒温室内设有粗级定位装置和纳米级定位装置，粗级定位装置为滚珠丝杆［７］，纳米级定位装置具有工作腔壳体［４］，在工作腔内设有变形体［１０］，变形体两侧设有变形体支撑块，变形体支撑块两侧和变形...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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