一种黑色Y2O3陶瓷涂层的制备方法技术

本发明专利技术涉及Y2O3陶瓷涂层制造技术领域，具体涉及一种黑色Y2O3陶瓷涂层的制备方法。所述制备方法，包括如下步骤：步骤(1)，选择纯度大于99.95％的Y2O3粉末；步骤(2)，将所述Y2O3粉末二次造粒后进行高温还原烧结处理；步骤(3)，对待喷涂的基材表面进行预处理；步骤(4)，通过等离子体喷涂设备在所述基材表面进行等离子喷涂，制备出黑色Y2O3涂层。本发明专利技术将原始Y2O3粉末在二次造粒过程中经H2还原成黑色，再将其经等离子喷涂至基材，制备出黑色Y2O3陶瓷涂层，经本发明专利技术制备的黑色Y2O3陶瓷涂层具有耐刻蚀、耐脏的性能，且制造成本较低。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种黑色Y2O3陶瓷涂层的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤(1)，选择纯度大于99.95％的Y2O3粉末；步骤(2)，将所述Y2O3粉末二次造粒后进行高温还原烧结处理；步骤(3)，对待喷涂的基材表面进行预处理；步骤(4)，通过等离子体喷涂设备在所述基材表面进行等离子喷涂，制备出黑色Y2O3涂层。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：邵花，王文东，刘邦武，夏洋，李勇滔，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：