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本发明涉及Y2O3陶瓷涂层制造技术领域，具体涉及一种黑色Y2O3陶瓷涂层的制备方法。所述制备方法，包括如下步骤：步骤(1)，选择纯度大于99.95％的Y2O3粉末；步骤(2)，将所述Y2O3粉末二次造粒后进行高温还原烧结处理；步骤(3)，对...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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