【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种真空清洗装置，其特征在于，具备：生成石油系溶剂的蒸气的蒸气生成机构，能够通过从上述蒸气生成机构供给的蒸气在减压下对工件进行清洗的清洗室，与上述清洗室相连并保持减压状态的冷凝室，将上述冷凝室保持在温度低于上述清洗室的温度保持机构，使上述冷凝室与上述清洗室连通或者隔断该连通的开闭机构。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：平本升，三塚正敏，小西博之，
申请(专利权)人：株式会社IHI，IHI机械系统股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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