下载真空清洗装置以及真空清洗方法的技术资料

文档序号:8757654

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本发明的真空清洗装置具备:生成石油系溶剂的蒸气的蒸气生成机构,能够通过从上述蒸气生成机构供给的蒸气在减压下对工件进行清洗的清洗室,与上述清洗室相连并保持减压状态的冷凝室,将上述冷凝室保持在温度低于上述清洗室的温度保持机构,以及使上述冷凝室与...
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