薄膜真空泵制造技术

技术编号：8736666 阅读：139 留言：0更新日期：2013-05-26 12:16

一种薄膜真空泵，所述薄膜真空泵具有电驱动的驱动单元和真空薄膜（94’’），所述真空薄膜将泵室（96’’）分隔成驱动侧的部分和远离驱动侧的部分，并且所述真空薄膜能够借助于驱动单元的可移动的部分（92’’）偏转。驱动单元是电磁驱动单元并且真空薄膜（94’’）的偏转在驱动单元中以电磁方式产生的线性运动的方向上进行。优选地，借助于所述可移动的部分（92’’）也操纵通风阀（903）。所述真空泵是相对小且紧凑的并且低噪声地工作。所述真空泵尤其适于吸奶器的“免提式”应用。