一种四自由度微机械陀螺阵列制造技术

技术编号:8734412 阅读:365 留言:0更新日期:2013-05-26 11:31
本发明专利技术涉及一种基于四自由度微机械陀螺的阵列结构。本发明专利技术由四自由度微机械陀螺排列组成,驱动模态设置在四自由度微机械陀螺的结构内部,敏感模态设置在四自由度微机械陀螺的外围,敏感质量块设置在所有陀螺单元的外部。四自由度微机械陀螺共用一个敏感质量块。通过这种新型的陀螺阵列的形式,将若干4-DOF陀螺单元有效地组合在一起,使得陀螺阵列不仅拥有良好的系统稳定性,而且可以有效地提高陀螺阵列的灵敏度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种基于四自由度微机械陀螺的阵列结构。
技术介绍
微机械陀螺的研究开始于上世纪80年代末,是一种新型的微小型惯性导航元器件。与传统的机械陀螺和光学陀螺相比,其优点是体积小、重量轻、耗电量小、寿命长、成本低、易集成、可靠性高,能大量生产,是未来新型惯性导航
的核心元器件之一。目前,微机械陀螺的研究主要分为单自由度和多自由度两大类:单自由度微机械陀螺采用的是1-D0F驱动结构和1-D0F敏感结构,通过驱动模态和敏感模态的自然频率匹配来实现驱动模态和敏感模态同时达到共振,从而提高陀螺的灵敏度;多自由度陀螺主要是将2-D0F结构(动态吸振器结构,DVA或完全的2-D0F振动结构)应用到微机械陀螺的驱动模态或敏感模态,通过2-D0F振动结构的频率响应中两个峰值之间的平坦区域来提高陀螺的3dB带宽,从而提高微机械陀螺的稳定性。在多自由度微机械陀螺结构中,动态吸振器结构(DVA)或完全的2-D0F振动结构在实现驱动模态和敏感模态解耦的同时,可以提高系统的带宽,从而提升系统的稳定性,增强抗干扰能力。然而在目前公开发表的多自由度微机械陀螺的结构中,2-D0F振动结构模态的增益相对本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种四自由度微机械陀螺阵列,由四自由度微机械陀螺排列组成,四自由度微机械陀螺包括驱动质量块、驱动静梳齿、驱动动梳齿、解耦框架、监测质量块、敏感质量块、敏感静梳齿和敏感动梳齿,驱动静梳齿和驱动动梳齿构成电容梳齿式驱动单元,所述驱动单元设置在驱动质量块上,驱动质量块和四个锚点Ⅰ通过两个工形梁相连,驱动质量块和解耦框架通过四个折叠梁Ⅰ相连,解耦框架和四个锚点Ⅱ通过两个工形梁Ⅱ连接,构成驱动模态;检测质量块和解耦框架通过四个折叠梁Ⅱ相连,检测质量块和敏感质量块通过四个折叠梁Ⅲ相连,敏感质量块和四个锚点Ⅲ通过两个工形梁Ⅲ相连,敏感静梳齿和敏感动梳齿构成电容梳齿式敏感单元,所述敏感单元设置在敏感质量块上,...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:王伟吕晓永李欣韩莉莉宋鸿儒杨博赵清李强范岳朱玮
申请(专利权)人:哈尔滨工程大学
类型:发明
国别省市:

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