【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及电学及机械领域，特别涉及一种熔丝组件、熔丝组件制造方法及设备。
技术介绍
在集成电路设计中，设计者需要通过在电路中增加一定数量的金属熔丝(Metalfuse)来调节电路中某些电阻的电阻值，使电路中某些电阻的阻值可调，从而满足电路的特定功能。在具体的制造工艺过程中，需生产出一定数量的金属熔丝，然后在集成电路芯片测试的时候，可以靠烧断或者保留这些金属熔丝来对电阻的阻值进行调节。因此需要金属熔丝具备如下特征:在需要烧断金属熔丝的时候能够很容易烧断，而在不需要烧断的时候又需要较好地保持连接，即需要金属熔丝有一定的机械应力，避免由于外力的存在导致金属熔丝断裂，从而影响电路的性能。本申请专利技术人在实现本申请实施例技术方案的过程中，至少发现现有技术中存在如下技术问题:由于金属熔丝本身结构的缺陷，造成了金属熔丝在集成电路芯片的加工过程中很容易由于外力的影响而发生断裂。而现有技术中还没有解决该问题的方法。
技术实现思路
本专利技术实施例提供一种熔丝组件、熔丝组件制造方法及设备，用于提高金属熔丝的机械性能。一种熔丝组件，包括:介质层，位于所述介质层上表面的一具有四个侧面...
【技术保护点】
一种熔丝组件，包括：介质层，位于所述介质层上表面的一具有四个侧面的金属熔丝，所述金属熔丝按其宽度分为宽度为第一宽度值的第一部分及宽度为第二宽度值的第二部分，其特征在于，所述第一部分的上表面及所述四个侧面覆盖有保护层，所述第二部分位于一保护腔体中，位于所述第二部分上方的所述保护腔体上设置有一通孔。
【技术特征摘要】
1.一种熔丝组件，包括:介质层，位于所述介质层上表面的一具有四个侧面的金属熔丝，所述金属熔丝按其宽度分为宽度为第一宽度值的第一部分及宽度为第二宽度值的第二部分，其特征在于，所述第一部分的上表面及所述四个侧面覆盖有保护层，所述第二部分位于一保护腔体中，位于所述第二部分上方的所述保护腔体上设置有一通孔。2.如权利要求1所述的熔丝组件，其特征在于，所述第一宽度值大于零，及小于所述金属熔丝的宽度；所述第一宽度值与所述第二宽度值之和为所述金属熔丝的宽度。3.如权利要求1所述的熔丝组件，其特征在于，所述保护层由二氧化硅制成。4.如权利要求1所述的熔丝组件，其特征在于，所述保护腔体由二氧化硅制成。5.如权利要求1所述的熔丝组件，其特征在于，所述介质层由二氧化硅制成。6.如权利要求1所述的熔丝组件，其特征在于，制造所述金属熔丝所用的金属为铝、铜或银...
【专利技术属性】
技术研发人员：叶文正，杨帆，
申请(专利权)人：北大方正集团有限公司， 深圳方正微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11
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