金属熔丝的制造方法技术

本发明专利技术公开了一种金属熔丝的制造方法，包括如下步骤：步骤一、形成次顶层金属、层间膜、顶层金属和钝化层，次顶层金属包括次顶层连线金属和金属熔丝。步骤二、利用一层光罩将金属熔丝区域打开。步骤三、对金属熔丝区域的钝化层和层间膜进行刻蚀将金属熔丝露出。步骤四、采用刻蚀工艺对金属熔丝进行减薄。步骤五、进行第二钝化层淀积，第二钝化层将金属熔丝覆盖。步骤六、采用光刻刻蚀进行衬底焊盘开口。本发明专利技术能对金属熔丝进行减薄，从而能大大减少进行金属熔丝的激光切割时所需的激光能量，还能提高金属熔丝的保护层的厚度可控性和均匀性，提高切割的精度。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种金属熔丝的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一、在一半导体基底上依次形成次顶层金属、层间膜、顶层金属和钝化层，所述次顶层金属包括次顶层连线金属和金属熔丝，所述顶层金属和所述次顶层连线金属通过所述层间膜隔离并通过形成于所述层间膜中的通孔连接；步骤二、利用一层光罩将所述金属熔丝区域打开；步骤三、利用刻蚀工艺依次对所述金属熔丝区域的所述钝化层和所述层间膜进行刻蚀，刻蚀后所述金属熔丝露出；步骤四、采用刻蚀工艺对所述金属熔丝进行减薄；步骤五、进行第二钝化层淀积，在所述金属熔丝区域所述第二钝化层将所述金属熔丝覆盖并用于对所述金属熔丝进行保护，在所述金属熔丝区域外所述第二钝化层位于所述钝化层上；步骤六、采用光刻刻蚀进行衬底焊盘开口，将所述衬垫焊盘区域的所述第二钝化层和所述钝化层去除并将所述顶层金属露出。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵新梅，郑炯，
申请(专利权)人：上海华虹NEC电子有限公司，
类型：发明
国别省市：