发光装置的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及发光装置的制造方法，包括如下工序：使喷嘴(13)接近配置在该喷嘴(13)的上方的包含支撑基板的被涂布体(19)，使从喷嘴(13)排出的涂布液(17)与被涂布体(19)接触，在涂布液17与被涂布体(19)接触的状态下，使被涂布体(19)与喷嘴(13)相对移动而将涂布液(17)涂布成膜，形成有机EL层，该喷嘴(13)与贮存形成有机EL层的涂布液(17)的罐(14)连通，将从该罐(14)供给的涂布液(17)排出；使涂布液(17)接触后且使被涂布体(19)与喷嘴(13)相对移动前，在维持涂布液(17)接触的状态下，使罐(14)下降至比开始被涂布体(19)与喷嘴(13)的相对移动时的罐(14)的位置还低的位置，然后，使罐(14)上升到开始被涂布体(19)与喷嘴(13)的相对移动时的罐(14)的位置。由此，提供能够采用毛细管涂布法形成膜厚的不均匀得到抑制的有机EL层的发光装置的制造方法。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及。
技术介绍
有机EL(Electro Luminescence)元件包含第一电极、有机EL层和第二电极而构成。有机EL元件通过将构成元件的各构成要素依次层叠而制作。构成有机EL元件的一部分的有机EL层能够采用涂布法形成。例如通过采用规定的涂布法将包含形成有机EL层的材料的涂布液涂布成膜，进而使其固化，从而能够形成有机EL层。在将涂布液涂布的方法中有各种方法。其中的I种，有利用了毛细管现象的毛细管涂布法。毛细管涂布法中，将向上方排出涂布液的喷嘴配置在被涂布体的下方，使从该喷嘴排出的涂布液与被涂布体接触，进而维持涂布液与被涂布体接触的状态，同时使喷嘴或被涂布体移动，从而将涂布液涂布于被涂布体(參照例如专利文献I)。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2004-164873号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题有机EL元件的发光强度也依赖于有机EL层的膜厚，因此形成有机EL层时如果其膜厚产生不均匀，起因于该膜厚的不均匀而产生亮度不均。因此，要求以膜厚变得均一的方式形成有机EL层。但是，对于毛细管涂布法，难以得到均一的膜厚的涂布膜，特别是使涂布液与被涂布体接触的位置附近的膜厚与其他部位相比存在厚膜化的倾向。因此，本专利技术的目的在于提供能够采用毛细管涂布法形成膜厚的不均匀受到抑制的有机EL层的。用于解决课题的手段本专利技术涉及，所述发光装置具有支撑基板及在所述支撑基板上设置的有机EL元件，所述有机EL元件通过将第一电极、有机EL层和第二电极依次在支撑基板上层叠而构成，所述制造方法包括如下エ序:使喷嘴接近配置在该喷嘴的上方的包含所述支撑基板的被涂布体，使从喷嘴排出的涂布液与所述被涂布体接触，在所述涂布液与所述被涂布体接触的状态下，使所述被涂布体与所述喷嘴相对移动而将所述涂布液涂布成膜，形成所述有机EL层，所述喷嘴与贮存形成有机EL层的涂布液的罐连通，将从该罐供给的所述涂布液排出；在使所述涂布液接触后，且使所述被涂布体与所述喷嘴相对移动前，在維持所述涂布液接触的状态下，使所述罐下降至比开始所述被涂布体与所述喷嘴的相对移动时的所述罐的位置还低的位置，然后，使所述罐上升到开始所述被涂布体与所述喷嘴的相对移动时的所述罐的位置。此外，本专利技术涉及，其中，使涂布液离开时，在使罐下降后再使喷嘴下降，使涂布液离开。此外，本专利技术涉及，其中，所述涂布液包含沸点不到170°C的低沸点溶剤。此外，本专利技术涉及，其中，所述涂布液包含相对于总重量为30重量％ 50重量％的沸点不到170°C的低沸点溶剤。专利技术的效果根据本专利技术，能够采用毛细管涂布法形成膜厚的不均匀受到抑制的有机EL层。附图说明图1是示意地表示帽型涂布机系统11的图。图2是喷嘴13的侧面图。图3是从图2的剖面线II1-1II看到的喷嘴13的剖面图。图4是从图3的剖面线IV-1V看到的喷嘴13的剖面图。图5是表示帽型涂布机系统11的动作的时间图。图6是表示涂布膜的膜厚的坐标图。图7是表示涂布膜的膜厚的坐标图。图8是表示涂布膜的膜厚的坐标图。图9是表示涂布膜的膜厚的坐标图。图10是表示涂布膜的膜厚的坐标图。具体实施例方式本专利技术的，是具有支撑基板和设置在该支撑基板上的有机EL元件的，有机EL元件通过依次将第一电极、有机EL层和第二电极在支撑基板上层叠而构成，该包括如下エ序:使喷嘴接近配置在该喷嘴的上方的包含所述支撑基板的被涂布体，使从喷嘴排出的涂布液与所述被涂布体接触，在所述涂布液与所述被涂布体接触的状态下，使所述被涂布体与所述喷嘴相对移动而将所述涂布液涂布成膜，形成所述有机EL层，所述喷嘴与贮存形成有机EL层的涂布液的罐连通，将从该罐供给的所述涂布液排出；在使所述涂布液接触后，且使所述被涂布体与所述喷嘴相对移动前，在維持所述涂布液接触的状态下，使所述罐下降至比开始所述被涂布体与所述喷嘴的相对移动时的所述罐的位置还低的位置，然后，使所述罐上升到开始所述被涂布体与所述喷嘴的相对移动时的所述罐的位置。本说明书中，所谓“涂布液与被涂布体接触的状态”意味着涂布液附着于被涂布体的状态。本实施方式的有机EL兀件通过依次将第一电极、有机EL层和第二电极层叠在支撑基板上而构成。第一电极和第二电极构成由阳极和阴极组成的ー对电扱。即，将第一和第二电极中的一者设置为阳极，将另一者设置为阴极。此外，将第一和第二电极中的第一电极配置在靠近支撑基板，将第二电极与第一电极相比，远离支撑基板而配置。有机EL元件具有I层以上的有机EL层。再有，有机EL层意味着被第一电极和第ニ电极夹持的全部层。有机EL元件，作为有机EL层，具有至少I层以上的发光层。此外，在电极间并不限于发光层，根据需要设置规定的层。例如，在阳极和发光层之间，作为有机EL层，设置空穴注入层、空穴传输层和电子阻挡层等，在发光层与阴极之间，作为有机EL层，设置空穴阻挡层、电子传输层和电子注入层等。本实施方式的有机EL兀件,在第一电极与发光层之间，作为有机EL层,具有空穴注入层。以下，作为实施的一方式，对将作为阳极发挥功能的第一电极、空穴注入层、发光层和作为阴极发挥功能的第二电极依次层叠于支撑基板上而构成的有机EL元件进行说明。首先，准备支撑基板。支撑基板由例如玻璃板、树脂膜和它们的层叠体构成。再有，将从有机EL元件射出的光通过支撑基板向外界射出的所谓底部发射型的有机EL元件设置在支撑基板上的情况下，支撑基板由显示光透过性的材料构成。接下来，在支撑基板上以规定的图案形成第一电极。例如将第一电极形成为矩形状。对第一电极的构成及其形成方法将后述。接下来，在第一电极上形成空穴注入层。空穴注入层的形成方法并无特别限制，例如与后述的发光层同样地能够采用涂布法形成。接下来，作为有机EL层，形成发光层。本实施方式中，采用所谓毛细管涂布法形成发光层。即，使与贮存成为有机EL层(本实施方式中发光层)的涂布液的罐连通、将从该罐供给的所述涂布液排出的喷嘴与在该喷嘴的上方配置的包含支撑基板的被涂布体接近，使从喷嘴排出的涂布液与被涂布体接触，在涂布液接触被涂布体的状态下，使被涂布体与喷嘴相对移动而将涂布液涂布成膜，形成有机EL层。毛细管涂布法中，利用毛管力和静压，将涂布液从喷嘴向上方排出。再有，本エ序中的被涂布体相当于在其上形成了第一电极和空穴注入层的支撑基板。例如，采用毛细管涂布法能够形成5nm 200nm的膜厚的有机EL层。图1是示意地表示用于形成发光层的帽型涂布机系统11的图。以下，本说明书中，“上方”和“下方”分别意味着“铅直方向的上方”和“铅直方向的下方”。此外，以下中以将涂布液涂布时的配置为前提，对帽型涂布机系统11的构成进行说明。帽型涂布机系统11主要包含平台12、喷嘴13和罐14而构成。平台12保持着在下方的主面载置的被涂布体19。平台12例如利用真空吸附来保持被涂布体19。平台12，利用未图示的电动机和油压机等位移驱动机构，在水平方向上往复运动。以下有时将平台12移动的方向称为涂布方向X。图2为喷嘴13的侧面图。图3为从图2的剖面线II1-1II看到的喷嘴13的剖面图。图4为从图3的剖面线IV-1V看到的喷嘴13的剖面图。喷嘴13具有将涂布液排出的狭缝状排出ロ 23。如图2 图4中所示，喷嘴13为大致板状，主要具有填隙片21、夹持该填隙片21的一对夹本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.03.31 JP 2010-0816691.一种发光装置的制造方法， 所述发光装置具有支撑基板及在所述支撑基板上设置的有机EL元件，所述有机EL元件通过将第一电极、有机EL层和第二电极依次在支撑基板上层叠而构成， 所述制造方法包括如下エ序: 使喷嘴接近配置在该喷嘴的上方的包含所述支撑基板的被涂布体，使从喷嘴排出的涂布液与所述被涂布体接触，在所述涂布液与所述被涂布体接触的状态下，使所述被涂布体与所述喷嘴相对移动而将所述涂布液涂布成膜，形成所述有机EL层，所述喷嘴与贮存形成有机EL层的涂布液的罐连通，将从该罐供给的所述涂布液排出； 在使所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：海保昭雄，
申请(专利权)人：住友化学株式会社，
类型：
国别省市：