衍射光学元件和计测装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供能够极力抑制零级衍射光的产生并且在宽范围内生成光斑的衍射光学元件和计测装置。本发明专利技术通过提供一种衍射光学元件来解决上述问题，所述衍射光学元件具有凹凸且对入射光进行二维衍射而产生衍射光，其特征在于，将以所述入射光的光轴为基准的最大衍射角设为角度范围θ时，所述角度范围θ为7.5°以上，且零级衍射光的衍射效率为5%以下。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及衍射光学元件和使用衍射光学元件的计测装置。
技术介绍
对入射光的至少一部分进行衍射的衍射光学元件用于各种光学仪器和光学装置等。作为使用衍射光学元件的光学装置的例子，想到将由衍射光学元件衍射出的特定的光的图案投影到计测对象上并对计测对象的形状等进行计测的计测装置。这种计测装置中，已知作为对计测对象的三维形状等进行计测的计测装置而列举的三维计测装置通过检测所照射的光的图案的变化等而获得三维的信息(专利文献I)。另外，这种计测装置如果在计测装置与测定对象之间的距离短的情况下也能够进行预定的计测，则能够使测定光学系统小型化，并且能够缩短到达受光系统的光程长度，因此能够获得高计测灵敏度。因此，在这种计测装置中使用衍射光学元件的情况下，优选衍射角度大。但是，如果想要通过缩窄衍射光学元件的间距来产生衍射角度大的衍射光，则会产生零级衍射光。并且，当由衍射光产生的光斑数多时，零级衍射光的光量也会达到与其他衍射光的光量相比相对较大的值。这种情况下，会出现如下问题:计测装置中使用的摄像元件中自动增益调节设定得较低，从而无法识别由与零级衍射光相比相对较弱的其他衍射光产生的光斑；或者即使在将增本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.08.06 JP 2010-1779441.种衍射光学元件，具有凹凸且对入射光进行二维衍射而产生衍射光，其特征在于， 将以所述入射光的光轴为基准的最大衍射角设为角度范围Θ时，所述角度范围Θ为7.5°以上，且零级衍射光的衍射效率为5%以下。2.权利要求1所述的衍射光学元件，其特征在于，所述凹凸为2阶。3.权利要求1所述的衍射光学元件，其特征在于，所述凹凸为3阶以上。4.权利要求3所述的衍射光学元件，其特征在于，所述凹凸为2-阶(m为2以上的整数)。5.权利要求2所述的衍射光学元件，其特征在于， 所述凹凸中，将与所述凹凸的高度方向不同的预定轴方向上的凸部的长度和凹部的长度中在设所述光的波长为λ时落入λ/8至6 λ范围内的所述凸部的长度的平均值和所述凹部的长度的平均值分别设为μ 1、μ 2时， 所述衍射角Θ和的值为7.5°〈 Θ〈90。，且0〈D〈0.5， 并且-0.02 Θ+0.6〈D〈-0.00133 Θ+0.5233 (其中，7.5 ° 〈 Θ〈36.3 ° )或-0.02 Θ+0.6〈D〈0.475(其中，36.3。〈 Θ〈90。)。6.权利要求5所述的衍射光学元件，其特征在于， 所述衍射角Θ和D的值为7.5° < Θ <90°，且0〈D〈0...

【专利技术属性】
技术研发人员：宫坂浩司，野村琢治，
申请(专利权)人：旭硝子株式会社，
类型：
国别省市：