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本发明提供能够极力抑制零级衍射光的产生并且在宽范围内生成光斑的衍射光学元件和计测装置。本发明通过提供一种衍射光学元件来解决上述问题，所述衍射光学元件具有凹凸且对入射光进行二维衍射而产生衍射光，其特征在于，将以所述入射光的光轴为基准的最大衍射...
该专利属于旭硝子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过旭硝子株式会社授权不得商用。

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