提供一种防尘薄膜组件收纳容器，防尘薄膜组件在容器本体的规定位置固定，用盖体进行覆盖，以防止异物附着，运送中所述固定状态可以确实地被维持，并且所述固定状态可以简单地解除，将防尘薄膜组件取出。该防尘薄膜组件收纳容器，由载置防尘薄膜组件(16)的容器本体(12)和盖体(14)构成，其特征在于：设置多个防尘薄膜组件固定部(18)，该固定部(18)包括在防尘薄膜组件框架(16a)的凹部(26)，前端部(28a)插入的状态下转动可能的针(28)，在容器本体(12)设置的可以从防尘薄膜组件框架(16a)的凹部(26)将前端部(28a)拔出可能地将针(28)装设的针装设部(32)，从装于容器本体(12)的盖体(14)的外侧将针装设部(32)的针(28)转动的盖体(14)的开口部(14a)，开口部(14a)的闭塞板(40)。针装设部(32)具有其装设的针(28)以规定角度转动时，针(28)被保持的突起部(30)和切口部(32b)。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及将在半导体部件，印刷基板或者液晶显示装置等的制造中使用的，防尘薄膜贴附于防尘薄膜组件框架的防尘薄膜组件收纳于防尘薄膜组件收纳容器。
技术介绍
LSI以及超LSI等的半导体制造或为液晶显示装置等的制造中，要进行将半导体晶单或者液晶用原板用光进行照射来进行图案的制作的光刻。此时，光掩模或者中间掩模如果有灰尘附着，所述灰尘对光进行吸收，使光弯曲，由此就会使转印的图案变形，边缘不齐，并且基底变黑等的现象发生。所述的作业通常在无尘室中进行，即使如此，也难以使光掩模总是保持清洁，所以，使用透明的防尘薄膜在防尘薄膜组件框架上贴附的防尘薄膜组件。如此，所述防尘薄膜组件在光掩模上载置而进行曝光，异物不在光掩模的表面直接附着，而是在防尘薄膜上附着，所以光刻时，只要将焦点对准光掩模的图案，防尘薄膜上的异物就与转印无关了。所述的防尘薄膜组件如其本身有异物附着，就会有可能波及到光掩模，所以要求高的清净性。由此，在所述保管以及运送时，要使用防尘薄膜组件收纳容器。作为所述的防尘薄膜组件收纳容器或者防尘 薄膜组件的收纳方法，可以例举下所述专利文献1，2，3中所述之物。具体地说，专利文献I中，记载了一种防尘薄膜组件用容器，其为在硬质树脂制的容器本体的内底部，防尘薄膜组件框架的一个侧面被密接载置，其通过在容器本体的内底部竖直设立多个的支持体，由此从周围将内底部上载置的防尘薄膜组件框架进行支持，进一步，在容器本体上覆盖有开闭自由的硬质树脂制的盖体，并在所述内面具有在所述盖体具有在闭盖时，与内底部上载置的防尘薄膜组件框架的所述一个侧面相接触的相接触部。专利文献2，记载了一种大型防尘薄膜组件的收纳在容器中的方法，其中防尘薄膜组件具有框体，在所述框体的上缘面接着防尘薄膜，所述框体的下缘面涂布粘着材料，为了保护所述粘着材料在框体的粘着材料下面设置保护薄膜，所述收纳容器有盘以及盖，其中，所述大型防尘薄膜组件的保护薄膜的外周缘的一部或全部向外侧突起，而形成压边余量，并且所述压边余量通过粘着条，固定，由此将大型防尘薄膜组件收纳在其中。专利文献3，记载了一种防尘薄膜组件收纳容器，包括:防尘薄膜组件载置容器本体；在将防尘薄膜组件盖住的同时，与容器本体相互在周缘部嵌合卡定的盖体；在所述容器本体接合的金属部件；在防尘薄膜组件框架的相互平行的一组的边的各外侧面至少设置I个，共设置3个以上的孔，在这些孔中分别插入同数的框架保持针；对所述框架保持针的位置进行决定的位置决定部件，在该防尘薄膜组件收纳容器中，所述位置决定部件被机械固定在所述金属部件上。专利文献专利文献I日本实公平6— 45965号公报专利文献2日本特开2004- 361647号公报专利文献3日本特许第4391435号公报专利文献I所述的防尘薄膜组件用容器，为射出成型，有部件少的优点，作为半导体用防尘薄膜组件的收纳而使用。但是，所述防尘薄膜组件用容器，盖体以及容器本体都要高精度成形，不能用于边长为大与500_那样的液晶用防尘薄膜组件的收纳。因为这样的大型的容器难于在真空中进行精度良好地形成，加之容器本身的刚性也难以确保。由此，在容器的处理时以及搬送时容易引起容器的变形，从而容器和防尘薄膜组件框架相磨擦，发生粉尘，从而使品质变差。作为所述的边长超过500_的那样的大型的防尘薄膜组件的收纳容器，如专利文献2所述的那样，使保护光掩模粘着层的衬层的一部向外侧突起，用粘着条将其固定于容器本体，或者如专利文献3所述的那样，在防尘薄膜组件框架外侧面设置的凹部中将针插入，在容器本体上固定，在现有文献中也提出了将防尘薄膜组件在容器本体上确实地固定的方法。但是，专利文献2的那样，将防尘薄膜组件的保护薄膜的外周缘的一部或为全部突起于外侧形成的压边余量用粘着条将其在容器本体上贴附固定的场合，所述作业不得不用人工进行，难于在清净的状态下固定在盘上。进一步，在将粘着条剥离取出时，人手接近于防尘薄膜组件框架附近，有异物附着的危险。另一方面，如专利文献3的那样，向防尘薄膜组件框架外侧面的孔中进行针插入拔出使防尘薄膜组件向容器本体装卸的场合，防尘薄膜组件的装卸时，人手不太接近防尘薄膜组件，异物附着少。但是，在将收纳防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器进行运送时，有必要对防尘薄膜组件框架外侧面的孔中插入的针的插入位置进行持续维持。为此，可以考虑使用将针进一步用其他的螺钉等的结合装置进行固定的固定装置，或者使针形成有些象锥体而嵌合，用所述摩擦力进行固定的固定装置。但是，用螺钉等的结合装置将针固定的场合，针可以确实用被固定，但是有灰尘发生的危险。另外，将针制成大略锥性，用摩擦力进行固定的场合，将摩擦力调节为适当的大小有困难，可信赖性差。为了对所述课题进行解决，本专利技术提供了一种防尘薄膜组件收纳容器，其既在容器本体的规定位置处于固定状态的防尘薄膜组件用盖体覆盖以防止异物附着，又在运送中对所述固定状态进行确实的维持，并且在盖体封闭的状态下，将所述固定状态解除后，打开盖体，将防尘薄膜组件的取出。
技术实现思路
本专利技术的所述的目的由下列技术方案达成:1.一种防尘薄膜组件收纳容器，包括将贴附有防尘薄膜的防尘薄膜组件框架上的防尘薄膜组件载置的容器本体；将与所述容器本体在周缘部嵌合卡定的，将所述防尘薄膜组件覆盖的盖体，其特征在于:在所述防尘薄膜组件收纳收纳容器，设置多个防尘薄膜组件固定部，该防尘薄膜组件固定部包括:前端部插入所述容器本体载置的所述防尘薄膜组件框架的外侧面的凹部的状态下可以转动的针；安装于所述容器本体，可以将所述针的前端部从所述防尘薄膜组件框架的凹部拔出地装设所述针的针装设部；在所述盖体上形成的开口部，由此，可以从装在所述容器本体上的所述盖体的外侧，使所述针装设部的所述针转动；所述开口部的闭塞部件，设有将所述针进行保持的针保持装置，由此，安装在所述针装设部，前端部插入所述防尘薄膜组件框架的凹部的所述针按规定角度转动后，所述针的前端部不能从所述凹部拔出或脱落。2.技术方案I所述的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于:所述针保持装置包括，在所述针上形成的突起部；在所述针装设部形成的，在所述针进行规定角度转动后可以与所述突起部卡定的切口部。3.技术方案I所述的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于:在将装在所述容器本体上的所述盖体的开口部闭塞的所述闭塞部件上，设置有防止前端部插入所述容器本体载置的所述防尘薄膜组件框架的凹部的所述针的转动的转动防止部。4.技术方案3所述防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于:所述转动防止部包括，在将所述盖体的开口部闭塞的闭塞板上突起设置的柱状部；在所述柱状部的前端部设置的与所述针的后端部结合的结合部；所述盖体上设置的，对所述柱状部插入的所述开口部的所述闭塞板进行保持的闭塞板保持部。5.技术方案2所述的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于:所述针进行30-180度转动后，所述针的突起部和所述针装设部的切口部卡定。6.技术方案1-5中任一项所述的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于:在所述针的前端部设有作为与所述防尘薄膜组件框架相接触时的缓冲部件的弹性体。7.技术方案1-6中任一项所述的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于:在所述针的后端面，设有使所述针的转动用的工具插入的工具用凹部。专利技术的效果本专利技术的防尘薄膜组件收纳容器，具有简本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种防尘薄膜组件收纳容器，包括将贴附有防尘薄膜的防尘薄膜组件框架上的防尘薄膜组件载置的容器本体；将与所述容器本体在周缘部嵌合卡定的，将所述防尘薄膜组件覆盖的盖体，其特征在于：在所述防尘薄膜组件收纳容器，设置多个防尘薄膜组件固定部，该防尘薄膜组件固定部包括:前端部插入所述容器本体载置的所述防尘薄膜组件框架的外侧面的凹部的状态下可以转动的针；安装于所述容器本体，可以将所述针的前端部从所述防尘薄膜组件框架的凹部拔出地装设所述针的针装设部；在所述盖体上形成的开口部，由此，可以从装在所述容器本体上的所述盖体的外侧，使所述针装设部的所述针转动；所述开口部的闭塞部件，设有将所述针进行保持的针保持装置，由此，安装在所述针装设部，前端部插入所述防尘薄膜组件框架的凹部的所述针按规定角度转动后，所述针的前端部不能从所述凹部拔出。
【技术特征摘要】
2011.10.28 JP 2011-2373971.一种防尘薄膜组件收纳容器，包括将贴附有防尘薄膜的防尘薄膜组件框架上的防尘薄膜组件载置的容器本体；将与所述容器本体在周缘部嵌合卡定的，将所述防尘薄膜组件覆盖的盖体，其特征在于: 在所述防尘薄膜组件收纳容器，设置多个防尘薄膜组件固定部，该防尘薄膜组件固定部包括:前端部插入所述容器本体载置的所述防尘薄膜组件框架的外侧面的凹部的状态下可以转动的针；安装于所述容器本体，可以将所述针的前端部从所述防尘薄膜组件框架的凹部拔出地装设所述针的针装设部；在所述盖体上形成的开口部，由此，可以从装在所述容器本体上的所述盖体的外侧，使所述针装设部的所述针转动；所述开口部的闭塞部件，设有将所述针进行保持的针保持装置，由此，安装在所述针装设部，前端部插入所述防尘薄膜组件框架的凹部的所述针按规定角度转动后，所述针的前端部不能从所述凹部拔出。2.根据权利要求1所述的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于:所述针保持装置包括，在所述针上形成的突起部；在所述针装设部形成...
【专利技术属性】
技术研发人员：关原一敏，
申请(专利权)人：信越化学工业株式会社，
类型：发明
国别省市：
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