玻璃板的制造方法技术

本发明专利技术涉及玻璃基板的制造方法，该制造方法包括一边使熔融玻璃在下述管中流动一边进行澄清的澄清工序，所述管包含铂或铂合金的外周壁被加热。上述澄清工序包括脱泡工序，在该脱泡工序中，使上述熔融玻璃中的气泡自熔融玻璃的液面向着上述管内的气相放出。在上述脱泡工序中，通过对上述熔融玻璃进行搅拌，使上述熔融玻璃沿上述管径向的温度分布均匀化。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及制造玻璃板的。
技术介绍
在用于液晶显示屏或等离子体显示屏等平板显示器(下文称为FPD)的玻璃基板中，例如以厚度为0.5mm 0.7mm、尺寸为300mmX 400mm 2850mmX 3050mm玻璃板为主流。作为Fro用玻璃基板的制造方法，已知有溢流下拉法。溢流下拉法中，通过在成形炉中使熔融玻璃从熔融玻璃成形体的上部溢出而成形为板状玻璃，将成形后的板状玻璃缓慢冷却、并将其切断。之后，按照客户的规格将切断后的板状玻璃再切断成规定的尺寸，进行清洗、端面研磨等，进行发货。Fro用玻璃基板中、特别是液晶显示装置用玻璃基板中，在其表面形成有半导体元件，因此优选完全不含有碱金属成分或者即使含有也是对半导体元件等不会产生影响的程度的微量。另外，若在玻璃基板中存在气泡，则其成为显露缺陷的原因，因而有气泡存在的玻璃基板无法作为Fro用玻璃基板来使用。因此，要求在玻璃基板中无气泡残留。在玻璃基板的制造中，去除熔融玻璃的气泡的技术被称为澄清，该澄清中，利用As2O3等澄清剂的氧化还原反应来去除气泡。更具体地说，进一步提高粗熔解的熔融玻璃的温度，使澄清剂发挥功能而使气泡上浮、脱泡，其后通过降低温度而使未脱泡而残留的小泡溶解吸收在玻璃内。作为澄清剂，除As2O3外，近年来从环境负荷方面出发，还使用SnO2或Fe2O3等来代替As203。如上所述，对于完全不含有碱金属成分或碱金属成分为微量的玻璃基板的情况，与钠I丐玻璃等大量含有碱金属的玻璃基板相比，其高温粘性高、难以从制造中的熔融玻璃中去掉气泡，因而需要更高的澄清效果。另一方面，已知有下述澄清技术:通过使电流流经由钼或钼合金构成的管的澄清槽中来对澄清槽加热(通电加热)，并使熔融玻璃在该加热后的澄清槽中流通，由此来提高熔融玻璃的温度，进行澄清。(专利文献I)。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特表2011-502934号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题在将由钼或钼合金的管构成的澄清槽加热来提高熔融玻璃的温度时，熔融玻璃的温度有时不能均匀加热。例如，如图5所示，在通过管的熔融玻璃之中，由于与在壁面阻力大的管壁面附近流动的熔融玻璃的流速相比，在管路中心附近流动的熔融玻璃的流速更快，而且由于距离经加热的管的壁面远，因而在管路中心附近流动的熔融玻璃的温度低于在管壁面附近流动的熔融玻 璃的温度，未能上升到澄清所必须的温度，具有澄清不充分这样的问题。该问题也为在电流流经由钼或钼合金的管构成的澄清槽中的情况下所发生的问题。另外，在为了提高管中心附近的温度而增加由钼或者钼合金构成的澄清槽的加热量时，会促进钼或者钼合金的挥发，具有澄清槽的寿命缩短的问题。特别是近年来从环境负荷的方面出发在使用SnO2作为澄清剂来代替As2O3的情况下，由于使熔融玻璃的温度高于使用As2O3的情况的温度，因而愈加具有钼或者钼合金挥发的问题。因此对由钼或者钼合金构成的管进行过剩加热乃不利状况。另外，在澄清槽中，通过形成气泡易上浮的粘度可促进脱泡，但是，例如关于在液晶显示装置用玻璃基板等中优选使用的无碱玻璃，由于需要使其高温粘性高，使熔融玻璃的温度为高于碱性玻璃的高温，因而这样的无碱玻璃愈发具有钼或者钼合金挥发的问题。因此对由钼或者钼合金构成的管进行过剩加热乃不利状况。因此，本专利技术的目的在于提供玻璃基板的制造方法，在该制造方法中，与以往相t匕，可在熔融玻璃的澄清中防止构成澄清槽的管的钼或者钼合金的挥发，同时可提高熔融玻璃的澄清效果。 解决课题的手段本专利技术的一个方式为玻璃基板的制造方法，其包括一边使熔融玻璃在由钼或钼合金构成的外周壁被加热的管中流动一边进行澄清的澄清工序。上述澄清工序包括脱泡工序，在该脱泡工序中，使上述熔融玻璃中的气泡自熔融玻璃的液面向着上述管内的气相放出。在上述脱泡工序中，通过对上述熔融玻璃进行搅拌，使上述熔融玻璃沿上述管径向的温度分布均匀化。专利技术的效果利用上述方式的玻璃基板的制造方法，可在熔融玻璃的澄清中防止钼或者钼合金的挥发，同时可提高熔融玻璃的澄清效果。附图说明[图1]本实施方式玻璃基板制造方法的流程图。[图2]进行图1所示熔解工序 切断工序的装置的示意图。[图3](a)为主要示出进行图1所示澄清工序的澄清槽的图，(b)为示出澄清槽外周壁温度的图。[图4](a) (C)对澄清槽中所用的板材进行说明的图。[图5]对现有澄清槽中的熔融玻璃流速与温度进行说明的图。[图6](a) (C)示出实施方式与图4(a) (C)所示板材不同的板材的实例的图。[图7]示出实施方式与由图4(a) (C)所示板材构成的搅拌机构不同的搅拌机构的实例的图。具体实施例方式下面对本实施方式进行说明。(玻璃基板制造方法的整体概要)图1为本实施方式玻璃基板制造方法的流程图。主要具有熔解工序(STl)、澄清工序(ST2)、均质化工序(ST3)、供给工序(ST4)、成形工序(ST5)、缓慢冷却工序(ST6)以及切断工序(ST7)。此外还有磨削工序、研磨工序、清洗工序、检查工序、捆包工序等，在捆包工序中进行了堆叠的2个以上玻璃基板被运送至收货方的工作人员处。图2为进行熔解工序(STl) 切断工序(ST7)的装置的示意图。如图2所示，该装置主要具有熔解装置200、成形装置300、以及切断装置400。熔解装置200主要具有熔解槽201、澄清槽202、搅拌槽203以及玻璃供给管204，205，206。需要说明的是，用于将熔解槽201以后至成形装置300为止的各槽间连接的玻璃供给管204，205，206以及澄清槽202和搅拌槽203由金属管构成，金属管乃钼或者钼铑合金等钼合金制成。在熔解工序(STl)中，将添加有例如SnO2等澄清剂并被供给至熔解槽201内的玻璃原料利用未图示的火焰和电加热器进行加热熔解，从而得到熔融玻璃。具体地说，使用未图示的原料投入装置将玻璃原料M供给至熔融玻璃G的液面。玻璃原料通过利用火焰而变成高温的气相进行加热来缓慢熔解，溶于熔融玻璃MG中。熔融玻璃MG通过利用电加热器进行的通电加热来升温。澄清工序(ST2)至少在玻璃供给管204、澄清槽202和玻璃供给管205中进行。在澄清工序中，通过使澄清槽202内的熔融玻璃MG升温，熔融玻璃MG中所含有的包含02、C02或者SO2的气泡吸收例如由SnO2等澄清剂的还原反应所产生的O2而成长，并上浮到熔融玻璃MG的液面而被放出(脱泡工序)。另外，在澄清工序中，在脱泡后降低熔融玻璃MG的温度，从而使得例如由SnO2等澄清剂的还原反应而得到的SnO等澄清剂发生氧化反应，由此将残存于熔融玻璃MG的气泡中的O2等气体成分吸收到熔融玻璃MG中而使泡消失(吸收工序)。基于澄清剂的氧化反应和还原反应是通过控制熔融玻璃MG的温度来进行的。关于熔融玻璃MG的温度，通过在设于玻璃供给管204的未图示的加热电极与设于澄清槽202的后述加热电极202a (参照图3)之间流通电流、进一步在加热电极202a与相比于加热电极202a位于熔融玻璃MG下游侧且设 于澄清槽202的加热电极202b (参照图3 (a))之间流通电流，从而对澄清槽202进行加热、使熔融玻璃MG升温。进一步地，通过在加热电极202b与相比于加热电极202b位于熔融玻璃MG下游侧且设于澄清槽202的加热电极202本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.03.31 JP 2011-081274;2012.01.17 JP 2012-007511.一种玻璃基板的制造方法，其特征在于: 该制造方法包括澄清工序，该澄清工序中，一边使熔融玻璃在管中流动一边进行澄清，该管的由钼或钼合金构成的外周壁被加热； 所述澄清工序包括脱泡工序，在该脱泡工序中，使所述熔融玻璃中的气泡自熔融玻璃的液面向着所述管内的气相放出； 在所述脱泡工序中，通过对所述熔融玻璃进行搅拌，使所述熔融玻璃沿所述管径向的温度分布均匀化。2.如权利要求1所述的玻璃基板的制造方法，其中，在所述管内自所述熔融玻璃的入口起至最高温度附近为止的区间中的至少一部分对所述熔融玻璃进行搅拌，该最高温度是通过对所述熔融玻璃进行加热而形成的。3.如权利要求1或2所述的玻璃基板的制造方法，其中: 所述管包含阶梯性地或者连续性地扩径的扩径管； 所述脱泡工序在所述扩径管中进行。4.如权利要求1 3的任一项所述的玻璃基板的制造方法，其中，所述熔融玻璃中含有SnO2作为澄清剂。5.如权利要求1 4的任一项所述的玻璃基板的制造方法,其中,所述制造的玻璃基板的对应IO2 5泊粘度的温度为1500°C以上。6.如权利要求1 5的任一...

【专利技术属性】
技术研发人员：村上次伸，日冲宣之，
申请(专利权)人：安瀚视特控股株式会社，安瀚视特韩国有限公司，
类型：
国别省市：