【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种金刚石材料损伤的恢复方法，更具体而言，涉及一种基于飞秒激光恢复金刚石材料离子注入损伤表面的方法，该方法可用于金刚石表面由于离子掺杂，产生的金刚石晶格的空缺、间隙乃至非晶等损伤的修复，将该损伤层恢复成晶体状态，提闻金刚石材料的表面功能。
技术介绍
使用离子溅射加工金刚石材料时，由于离子注入在金刚石表面产生离子掺杂，并造成金刚石晶格的空缺和间隙等点缺陷，金刚石表面不可避免地形成一层掺杂注入离子的非晶状态改性层。而由于该损伤层材料性质发生了变化，将导致金刚石表面的质量和性质，如机械强度、硬度、耐磨性等降低。通常，对这种非晶损伤层的恢复一般采用热处理方法，使得损伤的非晶态受热融化后再冷却结晶，形成晶体。但是由于金刚石熔点较高，且当金刚石加热到800°C左右后极易石墨化。因此，金刚石材料很难使用退火等热处理方法进行有效恢复。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，克服现有技术的上述不足提出一种合理有效地对金刚石表面由于离子注入产生损伤的恢复方法，并避免金刚石的石墨化。本专利技术提出的方法，能显著降低金刚石表面损伤层的厚度。本专利技术的技术方案如下:，其特征在于...
【技术保护点】
一种有效恢复离子注入金刚石损伤的方法，其特征在于，将经过离子注入加工的金刚石材料放置在激光设备的样品台上，在激光器和样品台之间加入能量仪以检测激光的出射能量，调节激光的出射能量至100mW?3000mW，关闭激光器，取出能量仪，调节样品台使得金刚石材料处于激光出射透镜的焦距处，调节激光器的照射时间为5ms?5000ms，打开激光器进行恢复处理。
【技术特征摘要】
1.一种有效恢复离子注入金刚石损伤的方法，其特征在于，将经过离子注入加工的金刚石材料放置在激光设备的样品台上，在激光器和样品台之间加入能量仪以检测激光的出射能量，调节激光的出射能量至100mW-3000mW，关闭激光器，取出能量仪，调节样品...
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