下载一种有效恢复离子注入金刚石损伤的方法的技术资料

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本发明属于离子溅射加工技术领域,涉及一种有效恢复离子注入金刚石损伤的方法,将经过离子注入加工的金刚石材料放置在激光设备的样品台上,在激光器和样品台之间加入能量仪以检测激光的出射能量,调节激光的出射能量至100mW-3000mW,关闭激光器,...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。

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