气泡释放阀制造技术

本实用新型专利技术提供一种气泡释放阀，其包括设有液体输送管道的阀壳、装设于该阀壳内用于控制液体输送通断的气动阀以及与该气动阀联动的气泡释放装置；所述气泡释放装置包括与所述液体输送管道连通的气泡释放管道以及一端设置第一弹簧，另一端与气动阀的连接杆相连用于控制气泡释放管道通断的滑块。本实用新型专利技术的气泡释放阀在气动阀关闭时，气泡释放管道开启，使化学液体进行回流，形成动态平衡，大大减少气泡的产生，且气泡由于自身的浮力作用跟随化学液体从气泡释放管道排出到化学液体供应槽；在气动阀开启时，气泡释放管道关闭，避免分流，且流体流速稳定，没有气泡流经流量计，从而使流量计稳定并测量准确，降低误报警的几率，提高生产产量。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于半导体制造领域，涉及一种化学液体供应设备，特别是涉及一种气泡释放阀。
技术介绍
在半导体集成电路的各个制造工艺中，常需要用到各种化学液体。在化学清洗工艺中，对于硅片表面污染，需要用有机溶剂、碱液、合成洗涤剂等清洗有机杂质，用盐酸、硫酸、硝酸等无机酸清洗无机杂质。在半导体器件生产中还常用重铬酸钾洗液等氧化剂清洗玻璃、石英器皿和金属用具。王水具有良好的去污作用，王水不但能溶解较活泼金属和氧化物，而且还能溶解不活泼的金、钼等几乎所有的金属。在抛光工艺中需用到铬离子抛光液、铜离子抛光液等进行化学机械抛光，其中，铬离子抛光既有机械抛光的平整度好，无橘皮状腐蚀坑等优点，又有化学抛光结构损伤较小的优点，铜离子化学机械抛光速度快，表面质量好。在扩散工艺中，还常用到液态掺杂源，如硼酸三甲酯，三氯氧磷，三氯化磷等。无水硼酸三甲酯在室温下是一种无色透明的液体。在光刻工艺中常丁酮做显影液。在化学腐蚀工艺中要用到腐蚀液，如硝酸在硅的混合腐蚀液中起到氧化剂作用，使硅氧化成二氧化硅，生成的二氧化硅被络合剂氢氟酸络合，达到腐蚀的目的。而腐蚀铝一般用85%的磷酸腐蚀液。氢氟酸能溶解二氧化硅，在化学清洗和腐蚀工艺中常利用这一特性来腐蚀剥离、石英和硅片表面上的二氧化硅层。但是很多化学液体都不稳定，容易分解产生气泡。比如在半导体器件生产中常利用过氧化氢(H2O2，俗称双氧水)在酸性和碱性溶液中具有强氧化性来清除有机和无机杂质，然而双氧水很不稳定，容易分解，在普通条件下将慢慢分解成水和氧气。臭氧水也容易分解产生氧气。这些易分解的化学液体若在管道内长时间静置，将会产生大量气体并在液体中形成气泡，而如果传输管道中的化学液体中混有气泡，流量计将会不稳定导致测量不准确，并误报警。而现有技术的阀门没有回流功能，阀门处于关闭状态时，管道中的化学液体处于静止状态，很容易产生气泡；现有技术的阀门也没有气泡释放功能，产生的气泡会随着阀门的打开流向流量计，导致仪表不稳定等问题。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种气泡释放阀，用于解决现有技术中传输管道中的化学液体为静态并混有气泡，导致流量计不稳定、测量不准确、并误报警的问题。为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种气泡释放阀，该气泡释放阀包括设有液体输送管道的阀壳、装设于该阀壳内用于控制液体输送通断的气动阀以及与该气动阀联动的气泡释放装置；所述气泡释放装置包括与所述液体输送管道连通的气泡释放管道以及一端设置第一弹簧，另一端与气动阀连接用于控制气泡释放管道通断的滑块。可选地，所述滑块与气动阀通过固定于阀壳内的传动装置连接。可选地,所述传动装置包括至少一个传动轮以及与传动轮配合的传动带,该传动带一端连接滑块，另一端连接气动阀。可选地，所述气动阀包括控制所述液体输送管道通断的阀芯以及阀控制件，所述阀控制件包括活塞腔、位于所述活塞腔内的活塞、一端与活塞腔的顶部接触、另一端与活塞连接的第二弹簧以及固定在活塞上的连接杆；所述连接杆的一端与所述阀芯连接，另一端穿通所述活塞腔的顶部。可选地，所述活塞腔的底部设有通气装置，所述通气装置外接气源。可选地，所述滑块上设有通孔，在所述阀芯位于所述液体输送管道内阻断液体输送时，所述通孔与所述气泡释放管道对齐导通。可选地，所述通孔与所述气泡释放管道的横截面为圆形，所述通孔的直径小于或等于所述气泡释放管道的直径。可选地，所述气泡释放阀进一步包括与所述连接杆配合的检测装置，该检测装置包括光传感器以及标识装置，所述光传感器固定在所述阀壳的顶部，所述标识装置与所述光传感器相连；所述光传感器包括光发射端及光接收端，所述光发射端与所述光接收端之间设有一容置连接杆的空隙。可选地，所述标识装置包括第一灯泡及第二灯泡，所述第一灯泡与所述光发射端相连，所述第二灯泡与所述光接收端相连。如上所述，本技术的气泡释放阀，具有以下有益效果液体输送管道切断时，气泡释放管道打开，化学液体在压力下通过所述气泡释放管道进行回流，使化学液体形成微循环，达到动态平衡，大大减少气泡的产生，另外产生的少量气泡通过其自身的浮力作用进入气泡释放管道并释放出去；当液体输送管道再次打开时，气泡释放管道关闭，避免化学液体从气泡释放管道分流，同时由于液体输送管道内已无气泡或气泡大大减少，避免了流量计不稳定从而测量不准的问题，同时也降低了误报警的几率，使由于误报警而产生的生产暂停次数减少，从而使产量得到提高。附图说明图1显示为化学液体输送示意图。图2A显示为本技术的气泡释放阀的剖面示意图。图2B显示为图2A中滑块的剖面放大图。图3显示为本技术的气泡释放阀应用于化学液体传输、回流和气泡释放时的示意图。元件标号说明110 管道120 阀门130 流量计140 气泡150 化学液体供应槽210 阀壳211 液体输送管道220气动阀221阀芯222活塞腔223活塞224第二弹簧225连接杆226通气装置230气泡释放装置231气泡释放管道232第一弹簧234传动轮235传送带240监测装置241光发射端242光接收端243空隙244第一灯泡245第二灯泡251进液口接头252出液口接头253出气接头具体实施方式以下由特定的具体实施例说明本技术的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点及功效。请参阅图1至图3。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本技术可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更
技术实现思路
下，当亦视为本技术可实施的范畴。请参阅图1，显示为化学液体输送示意图。如图所示，化学液体自管道110流经阀门120，再流经流量计130，最终到达所需生产线。若管道110中含有气泡140，化学液体流经流量计130时，流量计将会不稳定，测量 值相应的也不准确。请参阅图2A，显示为本技术的气泡释放阀的剖面示意图。如图所示，该气泡释放阀包括设有液体输送管道211的阀壳210、装设于该阀壳内用于控制液体输送通断的气动阀220以及与该气动阀联动的气泡释放装置230 ;所述气泡释放装置包括与所述液体输送管道连通的气泡释放管道231以及一端设置第一弹簧232，另一端与气动阀连接用于控制气泡释放管道通断的滑块233。所述气泡释放管道231有两个功能，分别是释放气泡以及回流。由于气泡主要是易于分解的化学液体在管道内长时间静置分解而产生的，通过所述气泡释放管道211进行化学液体回流将会形成一个微循环系统，使化学液体处于动态平衡，大大减少气泡的产生。另外气泡由于自身的浮力作用，也会进入气泡释放管道并排出。具体的，所述滑块233与气动阀220通过固定于阀壳内的传动装置连接。所述传动装置包括至少一个传动轮234以及与传动轮配合的传动带235，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气泡释放阀，其特征在于：该气泡释放阀包括设有液体输送管道的阀壳、装设于该阀壳内用于控制液体输送通断的气动阀以及与该气动阀联动的气泡释放装置；所述气泡释放装置包括与所述液体输送管道连通的气泡释放管道以及一端设置第一弹簧，另一端与气动阀连接用于控制气泡释放管道通断的滑块。

【技术特征摘要】
1.一种气泡释放阀，其特征在于该气泡释放阀包括设有液体输送管道的阀壳、装设于该阀壳内用于控制液体输送通断的气动阀以及与该气动阀联动的气泡释放装置；所述气泡释放装置包括与所述液体输送管道连通的气泡释放管道以及一端设置第一弹簧，另一端与气动阀连接用于控制气泡释放管道通断的滑块。2.根据权利要求1所述的气泡释放阀，其特征在于所述滑块与气动阀通过固定于阀壳内的传动装置连接。3.根据权利要求2所述的气泡释放阀，其特征在于所述传动装置包括至少一个传动 轮以及与传动轮配合的传动带，该传动带一端连接滑块，另一端连接气动阀。4.根据权利要求1所述的气泡释放阀，其特征在于所述气动阀包括控制所述液体输送管道通断的阀芯以及阀控制件，所述阀控制件包括活塞腔、位于所述活塞腔内的活塞、一端与活塞腔的顶部接触、另一端与活塞连接的第二弹簧以及固定在活塞上的连接杆；所述连接杆的一端与所述阀芯连接，另一端穿通所述活塞腔的顶部。5.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴良辉，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：实用新型
国别省市：