一种球形气动找平机构，包括支座与上板。支座的球形凹面上均布若干个出气口，出气口上固接与球形凹面一致的带有节流孔的节流盖。节流孔气流出口端处在支座与上板之间处，入口端处在支座内部通气道出口处。一个节流盖对应一条支座通气道。通气道汇总后既与压缩空气源相通又与真空源相通。上板的吸盘以及承片台的环形槽均与真空气源相通。支座与上板之间通入压缩空气形成气膜将上板浮起。上板真空吸附承片台，承片台真空吸附基片。上板被气膜浮起后可容易的进行基片找平且找平力还很小；上板和支座的摩损小，增大了两者的使用寿命。压缩空气切换成真空，上板连同基片被锁紧，基片不会产生X、Y方向的位移，减少了基片的损坏率。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种接触接近式光刻机对准工作台的找平机构，特别是涉及一种接触接近式光刻机对准工作台的球形气动找平机构。
技术介绍
找平机构是接触接近式光刻机对准工作台部件中的关键装置，也是瓶颈技术，该装置直接体现接触接近式光刻机的研制、生产、制造、装配等技术水平。由于基片上下表面的不平行，在基片吸附固定后与掩膜版表面接触时二者之间会形成一个楔形角，找平机构就是为了消除这个楔形误差，使基片与掩膜版完全接触，接触面达到平行状态。国外接触接近式光刻机的找平机构都是自行研制的，属于核心技术受到保护。国内接触接近式光刻机目前配置的找平机构，普遍采用半球形找平技术，找平时由于凸凹两个半球面直接相互接触相对运动频繁、磨损快，磨损后无法维修，只能进行更换；且找平力大，易造成掩膜版变形从而影响基片曝光质量，特别对于薄基片容易造成碎片。因此，从社会效益和经济效益两方面考虑，研制开发易于找平、找平力小的球形气动找平机构是非常必要的。
技术实现思路
本专利技术的目的是针对已有接触接近式光刻机找平技术的不足，提供一种接触接近式光刻机能够实现基片与掩膜版找平时易于找平、锁紧时X及Y方向无漂移、找平力小、维护方便的球形气动找平机构。本专利技术的目的是能够实现的。本专利技术的球形气动找平机构是在已有技术的基础上进行改进得以实现的，本专利技术的球形气动找平机构包括互为呈球形结构且上板2坐落在支座I球形凹面中的支座I与上板2，本专利技术的球形气动找平机构的特征在于所述支座I的球形凹面上均布对称设有若干个出气口 I’，所述每个出气口 I’上均通过螺钉固接一个与支座I球形凹面一致的节流盖3，所述节流盖3与支座I结合部之间设有密封胶圈5，所述节流盖3上设有节流孔，所述节流盖3的节流孔外侧出口端处在所述支座I与上板2之间形成的空间处，内侧入口端处在支座I内部设有的支座通气道出口处，所述一个节流盖3对应一条支座通气道，所述支座I外部设有一个支座进气嘴10，所述若干条支座通气道的进气端汇总与所述支座进气嘴10连通，所述支座进气嘴10与气动系统的调速阀13的出口连接，所述调速阀13的进口通过串联的两个电磁阀16既与真空泵15管路连接，又通过减压阀19与压缩空气泵14管路连接，所述节流盖3与所述支座I之间形成的空间经过支座进气嘴10通过两个电磁阀16或者与压缩空气泵14连通或者与真空泵15连通。所述上板2四个角部各设有一个吸盘4，所述每个吸盘4的气孔下面均与设置在上板2内部的一条上板通气道连通，四个上板通气道的进口汇总与设置在上板2上的上板进气嘴11连通，所述上板进气嘴11通过一个电磁阀17与真空泵15管路连接，所述上板2上面置有一个平板状承片台6，所述承片台6上开有若干同心圆的环形槽，每个所述环形槽均互为联通，所述互为联通的环形槽下面通过承片台6内部设置的承片台通气道与安装在所述承片台6上的承片台进气嘴12连通，所述承片台进气嘴12通过一个电磁阀18与真空泵15管路连接。本专利技术球形气动找平机构，其中各条所述支座通气道的长度相等，内径相同。本专利技术球形气动找平机构，其中所述节流盖3的节流孔孔径为O. 5 1mm。本专利技术球形气动找平机构，其中所述支座进气嘴10前面经压缩空气泵14输入的气压力为O. 4MPa，支座进气嘴10、上板进气嘴11以及承片台进气嘴12前面经真空泵15制造的负压为-O. 08MPa。本专利技术球形气动找平机构与现有技术不同之处在于本专利技术球形气动找平机构的支座上设有三个节流盖，节流盖上的节流孔既与压缩气源相通又与真空气源相通；上板设置的吸盘以及承片台设置的环形槽均与真空气源相通。支座与上板之间通入压缩空气时形成气膜，气膜将上板浮起；上板的吸盘通过真空泵将承片台吸附固定，承片台也通过真空泵将基片吸附固定，固定了基片的上板被气膜浮起后，既可通过版架十分便利的对上板找平且找平力还很小，另外找平时也减弱了支座与上板间的摩擦力，使得支座和上板不易出现摩损，增大了上板和支座的使用寿命。上板找平后，将支座与上板之间的压缩空气切换成由真空泵制造的真空状态，使支座与上板之间形成真空负压的吸附状态，上板连同其上的基片则会被锁紧，锁紧过程中，上板连同基片不会相对支座产生X、Y方向的位移，保持找平后的工作状态，从而极大地减少了基片被找平时的损坏率。本专利技术球形气动找平机构是一种理想的基片找平设备。下面结合附图对本专利技术的球形气动找平机构作进一步说明。附图说明图1是球形气动找平机构结构未装承片台时的立体结构示意图。图2是球形气动找平机构结构吸附了承片台时的立体结构示意图。图3是球形气动找平机构未装承片台时的结构主视示意图。图4是图3中的A局部放大视图。图5是球形气动找平机构中支座的俯视图。图6是球形气动找平机构工作示意图。图7是球形气动找平机构中的气动系统原理图。图中1支座、1’出气口、2上板、3节流盖、4吸盘、5密封圈、6承片台、7基片、8掩膜版、9版架、10支座进气嘴、11上板进气嘴、12承片台进气嘴、13调压阀、14压缩空气泵、15真空泵、16电磁阀、17电磁阀、18电磁阀、19减压器。具体实施例方式如图1、图3、图4、图5、图7所示，本专利技术的球形气动找平机构是在已有技术的基础上进行改进得以实现的，本专利技术的球形气动找平机构包括互为呈球形结构且上板2坐落在支座I球形凹面中的支座I与上板2。本专利技术球形气动找平机构的支座I的球形凹面上按120°角均布设有三个出气口I’，每个出气口 I ’上均通过螺钉固接一个与支座I球形凹面一致的节流盖3，节流盖3与支座I结合部之间设有密封胶圈5，密封胶圈5用于防止漏气造成气膜不均。节流盖3上设有节流孔。节流盖3的节流孔外侧出口端处在支座I与上板2之间形成的空间处，内侧入口端处在支座I内部设有的支座通气道出口处。一个节流盖3对应一条支座通气道。支座I外部设有一个支座进气嘴10。若干条支座通气道的进气端汇总与支座进气嘴10连通。支座进气嘴10与气动系统的调速阀13的出口连接，调速阀13的进口通过串联的两个电磁阀16既与真空泵15管路连接，又通过减压阀19与压缩空气泵14管路连接。节流盖3与支座I之间形成的空间经过支座进气嘴10通过两个电磁阀16或者与压缩空气泵14连通或者与真空泵15连通。如图1所示，上板2四个角部各设有一个吸盘4，每个吸盘4的气孔下面均与设置在上板2内部的一条上板通气道连通，四个上板通气道的进口汇总与设置在上板2上的上板进气嘴11连通。如图7所示，上板进气嘴11通过一个电磁阀17与真空泵15管路连接。如图2、图6所示,上板2上面置有一个平板状承片台6。承片台6上开有若干同心圆的环形槽，各个环形槽均互为联通。互为联通的环形槽下面通过承片台6内部设置的承片台通气道与安装在承片台6上的承片台进气嘴12连通。如图7所示，承片台进气嘴12通过一个电磁阀18与真空泵15管路连接。本专利技术球形气动找平机构中，各条支座通气道的长度相等，内径相同。节流盖3的节流孔孔径为O. 5_。支座进气嘴10前面经压缩空气泵14输入的气压力为O. 4MPa，支座进气嘴10、上板进气嘴11以及承片台进气嘴12前面经真空泵15制造的负压为-O. OSMPa0本专利技术工作原理如下 如图5所示，找平开始前，启动真空泵15，用-O. 08MPa的真空度将前承片台6吸附固定在吸盘4本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种球形气动找平机构，包括互为呈球形结构且上板2坐落在支座1球形凹面中的支座1与上板2，其特征在于：所述支座1的球形凹面上均布对称设有若干个出气口1’，所述每个出气口1’上均通过螺钉固接一个与支座1球形凹面一致的节流盖3，所述节流盖3与支座1结合部之间设有密封胶圈5，所述节流盖3上设有节流孔，所述节流盖3的节流孔外侧出口端处在所述支座1与上板2之间形成的空间处，内侧入口端处在支座1内部设有的支座通气道出口处，所述一个节流盖3对应一条支座通气道，所述支座1外部设有一个支座进气嘴10，所述若干条支座通气道的进气端汇总与所述支座进气嘴10连通，所述支座进气嘴10与气动系统的调速阀13的出口连接，所述调速阀13的进口通过串联的两个电磁阀16既与真空泵15管路连接，又通过减压阀19与压缩空气泵14管路连接，所述节流盖3与所述支座1之间形成的空间经过支座进气嘴10通过两个电磁阀16或者与压缩空气泵14连通或者与真空泵15连通；所述上板2四个角部各设有一个吸盘4，所述每个吸盘4的气孔下面均与设置在上板2内部的一条上板通气道连通，四个上板通气道的进口汇总与设置在上板2上的上板进气嘴11连通，所述上板进气嘴11通过一个电磁阀17与真空泵15管路连接，所述上板2上面置有一个平板状承片台6，所述承片台6上开有若干同心圆的环形槽，每个所述环形槽均互为联通，所述互为联通的环形槽下面通过承片台6内部设置的承片台通气道与安装在所述承片台6上的承片台进气嘴12连通，所述承片台进气嘴12通过一个电磁阀18与真空泵15管路连接。...
【技术特征摘要】
1.一种球形气动找平机构，包括互为呈球形结构且上板2坐落在支座I球形凹面中的支座I与上板2，其特征在于所述支座I的球形凹面上均布对称设有若干个出气口 1’，所述每个出气口 I’上均通过螺钉固接一个与支座I球形凹面一致的节流盖3，所述节流盖3与支座I结合部之间设有密封胶圈5，所述节流盖3上设有节流孔，所述节流盖3的节流孔外侧出口端处在所述支座I与上板2之间形成的空间处，内侧入口端处在支座I内部设有的支座通气道出口处，所述一个节流盖3对应一条支座通气道，所述支座I外部设有一个支座进气嘴10，所述若干条支座通气道的进气端汇总与所述支座进气嘴10连通，所述支座进气嘴10与气动系统的调速阀13的出口连接，所述调速阀13的进口通过串联的两个电磁阀16既与真空泵15管路连接，又通过减压阀19与压缩空气泵14管路连接，所述节流盖3与所述支座I之间形成的空间经过支座进气嘴10通过两个电磁阀16或者与压缩空气泵14连通或者与真空泵15连通； 所述上板2四个角部各设有一个吸盘...
【专利技术属性】
技术研发人员：李霖，蒲继祖，甄万财，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：
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