【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及气敏传感器测试
，具体涉及一种用于半导体微纳单晶的简单稳定可靠的测试系统。
技术介绍
随着现代科学技术的发展和人类社会的进步，一方面人类在创造了巨大的财富的同时，另一方面又给生态环境和生活环境带来了严重的污染。这些污染带来的一系列问题，如温室效应、酸雨、臭氧层的破坏等也不容忽视，因此迅速准确地检测到这些有毒、有害气体成为一种迫切需要。气敏传感器正是在这样的背景下得到了迅速的发展。在众多的气体传感器中，半导体式气体传感器由于它成本低、寿命长以及对湿度敏感度低等优点，一直以来受到广泛的关注和研究。但是其稳定性不够理想，功率要求较高，必须在较高温度下工作。上世纪九十年代中期，由于纳米科技的出现，半导体微纳单晶凭借其大的比表面积、简单而大批量的生产工艺、纳米单晶的较高稳定性、室温下就可以进行信号传输等这些优势，成为制备高性能的气敏传感器的理想材料。九州大学的Yamazoe研究组系统的研究了 Sn02薄膜的晶界尺寸对其气敏性能的影响(Sensors and ActuatorsB 1991，3，147 155);哈佛大学的Lieber研究组在应用硅纳米线...
【技术保护点】
一种半导体微纳单晶气敏传感器测试系统，其特征是结构如下：将制备好的SnO2单晶纳米带场效应晶体管固定在芯片底座（3）上，单晶纳米带场效应晶体管的各个电极与芯片底座（3）上的电极相连；在IC电路板（1）上焊接测试芯片转换座（4）和排针（2），使测试芯片转换座(4)的各个针孔和排针(2)一一对应并且导通；IC电路板(1)固定在固定支架(7)上；外接信号输出端口(8)和排针(2)相连，外接信号输出端口(8)和固定支架(7)固定在盲板(6)上,将以上完成连接的组件密封固定在测试腔体(5)中；将测试腔体(5)分别与进气系统（10）气体流量监控及组分调控单元（11）尾气回收系统（12）...
【技术特征摘要】
1.一种半导体微纳单晶气敏传感器测试系统，其特征是结构如下将制备好的SnO2单晶纳米带场效应晶体管固定在芯片底座(3)上，单晶纳米带场效应晶体管的各个电极与芯片底座(3)上的电极相连；在IC电路板(I)上焊接测试芯片转换座(4)和排针(2)，使测试芯片转换座(4)的各个针孔和排针(2) —一对应并且导通；IC电路板(I)固定在固定支架 (7)上；外接信号输出端口⑶和排针⑵相连，外接信号输出端口⑶和固定支架⑵固定在盲板(6)上，将以上完成连接的组件密封固定在测试腔体(5)中；将测试腔体(...
【专利技术属性】
技术研发人员：汤庆鑫，童艳红，蔡彬，塔利哈尔，裴腾飞，
申请(专利权)人：东北师范大学，
类型：发明
国别省市：
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