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一种半导体微纳单晶气敏传感器测试系统技术方案
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文档序号:8592862
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本发明涉及气敏传感器测试技术领域,具体涉及一种用于半导体微纳单晶的简单稳定可靠的测试系统。主要由IC电路板、排针、测试芯片底座、测试芯片转换座、测试腔体、与测试腔体配套的盲板和紧固件、固定支架、和外界信号输出端口,进气系统、气体流量监控及组...
该专利属于东北师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过东北师范大学授权不得商用。
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