一种带有迂回通道的悬臂梁式液体浓度传感器制造技术

本发明专利技术涉及一种带有迂回通道的悬臂梁式液体浓度传感器，包括基体、悬臂梁、激励压电薄膜、检测压电薄膜，所述悬臂梁一端固定在基体上，另一端自由悬空，悬臂梁上表面设有激励压电薄膜，悬臂梁下表面设有检测压电薄膜，所述悬臂梁内部设有用于检测的迂回通道，所述悬臂梁固定端设有通道的入口和出口，本发明专利技术有益效果为提高了传感器的灵敏度和测量效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种带有迂回通道的悬臂梁式液体浓度传感器，属于精密传感器领域。
技术介绍
谐振式液体浓度传感器能够根据被测溶液引起的谐振频率变化量来估算溶液浓度或溶质质量，是一种不依赖于化学反应，仅依靠物理方法即可实现液体浓度快速检测的传感器件，在生物医学检测、环境污染监测、细胞称重及食品安全领域具有广泛的应用需求。传统的液体浓度检测方法主要借助化学试剂反应来实现，对试剂或环境都具有一定消极的影响，是一种破坏性检测方法。随后研究人员研制了浸入式液体浓度测量器件，例如，Gupta, A.，Akin, D. &Bashir, R. Single virus particle mass detection using micro-resonators with nano-scale thickness. Appl. Phys. Lett. 84, 1976-1978 (2004).],[Forsen, E. et al.Ultrasensitive mass sensor fully integrated with complementarymetal-oxide semicon-本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种带有迂回通道的悬臂梁式液体浓度传感器，包括基体（1）、悬臂梁（2）、激励压电薄膜（3）、检测压电薄膜（4），所述悬臂梁（2）一端固定在基体（1）上，另一端自由悬空，悬臂梁（2）上表面设有激励压电薄膜（3），悬臂梁（2）下表面设有检测压电薄膜（4），其特征在于：所述悬臂梁（2）内部设有用于检测的迂回通道（21），所述悬臂梁（2）固定端设有通道（21）的入口和出口。

【技术特征摘要】
1.一种带有迂回通道的悬臂梁式液体浓度传感器，包括基体(I)、悬臂梁(2)、激励压电薄膜(3)、检测压电薄膜(4)，所述悬臂梁(2) —端固定在基体(I)上，另一端自由悬空，悬臂梁(2 )上表面设有激励压电薄膜(3 )，悬臂梁(2 )下表面设有检测压电薄膜(4 )，其特征在于所述悬臂梁(2)内部设有用于检测的迂回通道(21)，所述悬臂梁(2)固...

【专利技术属性】
技术研发人员：高仁璟，赵剑，张彦康，张永存，刘书田，
申请(专利权)人：大连理工大学，
类型：发明
国别省市：