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一种带有迂回通道的悬臂梁式液体浓度传感器制造技术
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下载一种带有迂回通道的悬臂梁式液体浓度传感器的技术资料
文档序号:8592863
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本发明涉及一种带有迂回通道的悬臂梁式液体浓度传感器,包括基体、悬臂梁、激励压电薄膜、检测压电薄膜,所述悬臂梁一端固定在基体上,另一端自由悬空,悬臂梁上表面设有激励压电薄膜,悬臂梁下表面设有检测压电薄膜,所述悬臂梁内部设有用于检测的迂回通道,...
该专利属于大连理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过大连理工大学授权不得商用。
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