下载一种带有迂回通道的悬臂梁式液体浓度传感器的技术资料

文档序号:8592863

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种带有迂回通道的悬臂梁式液体浓度传感器,包括基体、悬臂梁、激励压电薄膜、检测压电薄膜,所述悬臂梁一端固定在基体上,另一端自由悬空,悬臂梁上表面设有激励压电薄膜,悬臂梁下表面设有检测压电薄膜,所述悬臂梁内部设有用于检测的迂回通道,...
该专利属于大连理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过大连理工大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。