一种钼钠合金旋转溅射管形靶材的制备工艺制造技术

本发明专利技术公开了一种钼钠合金旋转溅射管形靶材的制备工艺，包括如下步骤：1）备料：所用粉末为钼粉、钼酸钠粉末；粉末的物理性质为：钼粉的Mo含量≥99.95%，粒度3~5μm；钼酸钠粉，钼酸钠含量≥99.0%，粒度20~40μmμm；2）配粉：将钼粉、钼酸钠粉按照比例称取，钼粉质量百分含量为90~99%，钼酸钠粉为：1~10%；3）机械合金化：合成纳米钼钠合金粉末；4）装模；5）冷等静压压制；6）烧结；7）锻造；8）真空退火；9）机械加工，得到钼钠合金旋转溅射管形靶材。本发明专利技术生产的钼铌合金管形靶材成分均匀、无偏析、晶粒细小、纯度高，完全满足CIGS光伏电池的要求，提高电池使用效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种钥钠合金管形靶材的生产技术，尤其涉及一种适用于光伏太阳能、半导体薄膜旋转溅射镀膜生产线的钥钠合金旋转溅射管形靶材的制备工艺。
技术介绍
钥钠合金材料由于其优异的导电、抗氧化性能以及较低的镀膜应力，应用于生产光伏电池，具体指高效多晶薄膜光伏电池的吸收层，通常被称为CIGS光伏电池。现已证明钥钠合金镀膜材料可起到提高CIGS光伏电池效率的作用。为了提高靶材的利用率，人们越来越多地制造和使用管形靶材，即将靶材做成管形，管子里面装有静止不动的载体。溅射过程中，管靶以一定的速度转动，所以叫旋转靶材(rotary target)。由于转动的管靶和静止不动的磁体之间发生相对运动，整个管靶表面均匀地发生溅射，靶材材料的利用率可达到70%以上。CIGS光伏电池所需要的钥钠合金旋转溅射管形靶材，特别是成分均匀、无偏析、晶粒细小、高纯度的管靶，目前还没有生产。
技术实现思路
本专利技术的 目的在于提供一种钥钠合金旋转溅射管形靶材的制备工艺，该方法生产的钥铌合金管形靶材成分均匀、无偏析、晶粒细小、纯度高，完全满足CIGS光伏电池的要求，提高电池使用效率。本专利技术采用如下技术方案 一种钥钠本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种钼钠合金旋转溅射管形靶材的制备工艺，其特征在于：包括如下步骤：1）备料：所用粉末为钼粉、钼酸钠粉末；粉末的物理性质为：钼粉的Mo含量≥99.95%，粒度3~5μm；钼酸钠粉，钼酸钠含量≥99.0%，粒度20~40μmμm；2）配粉：将钼粉、钼酸钠粉按照比例称取，钼粉质量百分含量为90~99%，钼酸钠粉为：1~10%；3）机械合金化：合成纳米钼钠合金粉末；4）装模：将上述得到的混合后的钼钠合金粉填充在橡胶模套内，制备成空心的粉质钼钠管坯；5）冷等静压压制：将空心的粉质钼钠管坯放入冷等静压力机压制成型；6）烧结：将成型后的固体管坯放入中频烧结炉内，炉内通入氢气保护，采用水循环降温；?7）锻造：...

【技术特征摘要】
1.一种钥钠合金旋转溅射管形靶材的制备工艺，其特征在于包括如下步骤1)备料所用粉末为钥粉、钥酸钠粉末；粉末的物理性质为钥粉的Mo含量>99. 95%， 粒度3 5 μ m ;钥酸钠粉，钥酸钠含量> 99. 0%，粒度20 40 ymym；2)配粉将钥粉、钥酸钠粉按照比例称取，钥粉质量百分含量为90、9%，钥酸钠粉为 Γ 0% ；3)机械合金化合成纳米钥钠合金粉末；4)装模将上述得到的混合后的钥钠合金粉填充在橡胶模套内，制备成空心的粉质钥钠管还;5)冷等静压压制将空心的粉质钥钠管坯放入冷等静压力机压制成型；6)烧结将成型后的固体管坯放入中频烧结炉内，炉内通入氢气保护，采用水循环降温；7)锻造将烧结后的钥钠合金成型坯加热到800-1300°C，加热时间为l_3h，取出后进行锻打；8)真空退火将锻打后的钥钠管靶放入真空退火炉内，进行真空退火；具体的退火工艺为加热温度700-1300°C，保温O. 5-2h，然后缓慢冷却至室温；9)机械加工，得到钥钠合金旋转溅射管形靶材。2.根据权利要求1所述的一种钥钠合金旋转溅射管形靶材的制备工艺，其特征在于 所述步骤3中，机械合金化过程如下将钥粉与钥酸钠粉按比例混合，在行星高能球磨机中球磨，球磨时在氩气保护中进行， 球料比为1:1，球磨时间为24h。3.根据权利要求1所述的一种钥钠合金旋转溅射管形...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵文普，高建杰，
申请(专利权)人：洛阳高新四丰电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：