基于形状记忆材料粗动驱动器的精密微动平台制造技术

基于形状记忆材料粗动驱动器的精密微动平台属于微动平台技术；在底座上从下至上依次安装Y向粗动平台底座、X向粗动平台底座、X向粗动平台、XY二维微动平台底座、Y向微动平台和载物台，所述的Y向微动平台通过Y向微动柔性铰链机构安装在X向微动平台内，X向微动平台通过X向微动柔性铰链机构安装在XY二维微动平台底座内；由X向和Y向压电微动驱动器驱动；X向粗动平台与X向粗动平台底座通过X向粗动滑道相配合，由X向和Y向形状记忆材料粗动驱动器驱动；本平台结构简单紧凑，易于控制，定位精度高，应用前景广泛。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术创造属于微动平台技术，主要涉及一种基于形状记忆材料驱动的精密微动T D ο
技术介绍
精密位移技术在近代尖端工业生产和科学研究领域占有极其重要的地位，广泛应用于微量进给、光纤对接和精密、超精密加工等要求精细操作的领域。精密位移依靠驱动器驱动精密微动平台运动来实现，微动平台的微动驱动多采用压电驱动器，压电驱动器是近几年发展起来的新型微位移器件，它以体积小、驱动力大、分辨率高、易于控制和输出位移小等优点作为驱动元件在精密机械当中得到了广泛的应用。但是，目前微动平台的粗动驱动多采用传统的机械传动装置，结构复杂，控制过程繁琐，且定位精度低。
技术实现思路
本专利技术创造的目的就是针对上述现有精密微动平台在粗动和微动驱动技术存在的问题，设计提供一种基于形状记忆材料粗动驱动器的精密微动平台，通过采用压电驱动器为微动驱动器，采用形状记忆材料驱动器为粗动驱动器的结构，达到兼顾大行程和微位移驱动的目的。本专利技术创造的目的是这样实现的载物台通过载物台安装螺栓固装在Y向微动平台上端面上，所述的Y向微动平台通过四个Y向微动柔性铰链机构安装在X向微动平台的内部；γ向压电微动驱动器安装在X向微动平台的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于形状记忆材料粗动驱动器的精密微动平台，其特征在于载物台(21)通过载物台安装螺栓(10)固装在Y向微动平台(11)上端面上，所述的Y向微动平台(11)通过四个Y向微动柔性铰链机构(9)安装在X向微动平台(7)的内部；Y向压电微动驱动器(19)安装在X向微动平台(7)的驱动槽内，且其两端分别与Y向微动平台(11)和X向微动平台(7)接触配合；X向微动平台(7)通过四个X向微动柔性铰链机构(20)安装在XY二维微动平台底座(12)内部，X向压电微动驱动器(6)安装在XY二维微动平台底座(12)的驱动槽内，且其两端分别与X向微动平台(7)和XY二维微动平台底座(12)接触配合；XY二维微动平...

【技术特征摘要】
1. 一种基于形状记忆材料粗动驱动器的精密微动平台，其特征在于载物台(21)通过载物台安装螺栓(10)固装在Y向微动平台(11)上端面上，所述的Y向微动平台(11)通过四个Y向微动柔性铰链机构(9)安装在X向微动平台(7)的内部；Y向压电微动驱动器(19)安装在X向微动平台(7)的驱动槽内，且其两端分别与Y向微动平台(11)和X向微动平台(7)接触配合；Χ向微动平台(7)通过四个X向微动柔性铰链机构(20)安装在XY二维微动平台底座(12)内部，X向压电微动驱动器(6)安装在XY 二维微动平台底座(12)的驱动槽内，且其两端分别与X向微动平台(7)和XY 二维微动平台底座(12)接触配合；XY 二维微动平台...

【专利技术属性】
技术研发人员：于月民，盖芳芳，张斌，
申请(专利权)人：黑龙江科技学院，
类型：实用新型
国别省市：