下载基于形状记忆材料粗动驱动器的精密微动平台的技术资料

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基于形状记忆材料粗动驱动器的精密微动平台属于微动平台技术;在底座上从下至上依次安装Y向粗动平台底座、X向粗动平台底座、X向粗动平台、XY二维微动平台底座、Y向微动平台和载物台,所述的Y向微动平台通过Y向微动柔性铰链机构安装在X向微动平台内,...
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