一种带水冷效果的空心阴极管制造技术

本发明专利技术公开了一种带水冷效果的空心阴极管，包含阴极管绝缘管、空心阳极管、前端盖、后端盖；阴极管设置在空心阳极管的内侧；绝缘管设置在阴极管与空心阳极管之间；前端盖和后端盖分别将阴极管、绝缘管和空心阳极管的两端密封；空心阳极管上设置有进气孔和等离子体喷口，空心阳极管中设置有靠近等离子体喷口的水冷空间；因此，从等离子体喷口喷出的等离子体可以得到及时的冷却，因此，在对皮革、柔性电路板等一些耐热性比较低的材质进行表面等离子体处理时，等离子体的温度降到这些材料的温度耐受范围之内，可以安全地对这些材料进行表面处理而不会损伤这些材料。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于材料表面等离子体处理的阴极管，特别是ー种适用于皮革、柔性电路板等ー些特殊材质表面处理的带水冷效果的空心阴极管。
技术介绍
低温等离子体表面处理工艺是指在负压下(一般为几十帕)，对一定的气体施加高频电场，使其激发成等离子体状态；等离子体作为物质的第四态，其中包含大量的电子，离子及自由基等活性粒子，这些活性粒子碰撞到被处理物体的表面，会发生相应的物理或化学反应，使材料表面的性质发生变化或是赋予新的功能，以达到其处理目的，满足实际应用的需要。现有的空心阴极结构等离子体表面处理虽然能够对ー些耐热性能较好的材质进行处理，但是由于空心阴极喷ロ在长时间的等离子体喷射过程中，喷ロ的温度会随着工作时间的加长而温度逐步升高，对于皮革、柔性电路板等一些耐热性比较低的材质，空心阴极结构等离子体进行表面处理吋，则会损伤这些材料。
技术实现思路
针对上述存在的技术问题，本专利技术的目的是提出了ー种适用于皮革、柔性电路板等ー些特殊材质表面处理的带水冷效果的空心阴极管。本专利技术的技术解决方案是这样实现的ー种带水冷效果的空心阴极管，包含阴极管绝缘管、空心阳极管、前端盖、后端盖；所述阴极管设置在空本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种带水冷效果的空心阴极管，其特征在于：包含阴极管（1）绝缘管（2）、空心阳极管（3）、前端盖（4）、后端盖（5）；所述阴极管（1）设置在空心阳极管（3）的内侧；所述绝缘管（2）设置在阴极管（1）与空心阳极管（3）之间；所述前端盖（4）将阴极管（1）、绝缘管（2）和空心阳极管（3）的前端密封，后端盖（5）将阴极管（1）、绝缘管（2）和空心阳极管（3）的后端密封；所述空心阳极管（3）上设置有进气孔和等离子体喷口（9）；所述进气孔和等离子体喷口（9）均与阴极管（1）内部的空间相连通；所述空心阳极管（3）中设置有水冷空间；所述水冷空间靠近空心阳极管（3）上的等离子体喷口（9）。

【技术特征摘要】
1.一种带水冷效果的空心阴极管，其特征在于包含阴极管(I)绝缘管(2)、空心阳极管(3)、前端盖(4)、后端盖(5);所述阴极管(I)设置在空心阳极管(3)的内侧；所述绝缘管(2)设置在阴极管(I)与空心阳极管(3)之间；所述前端盖(4)将阴极管(I)、绝缘管(2)和空心阳极管(3)的前端密封，后端盖(5)将阴极管(I)、绝缘管(2)和空心阳极管(3)的后端密封；所述空心阳极管(3)上设置有进气孔和等离子体喷口(9);所述进气孔和等离子体喷口(9)均与阴极管(I)内部的空间相连通；所述空心阳极管(3)中设置有水冷空间；所述水冷空间靠近空心阳极管(3)上的等离子体喷口(9)。2.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：温贻芳，范金玲，薛迎春，
申请(专利权)人：苏州工业职业技术学院，
类型：发明
国别省市：