【技术实现步骤摘要】
巨应力阻抗效应加速度计本专利技术涉及的是一种惯性参数测量器件，具体是一种巨应力阻抗效应加速度计，属于传感器
技术介绍
惯性导航器件如手机，笔记本电脑，以及其他移动物体如飞机，汽车等需要常常要涉及到运动物体加速度的测量，以此来判断物体的动态运动状态及方位，因此加速度计在这方面起到了非常重要的作用。通常加速度计包括一个质量块，当加速度计处于加速度状态时，质量块将能感受到惯性力的作用，通过与质量块相连的一定的力学结构来产生传感器的惯性力，并对受力状态进行分析，从而对质量块的加速度进行测量。悬臂梁是提供质量块受力作用的最常用的一种力学结构，其挠度、弹性变形和受力状况之间有简单的对应关系，可以很快地分析悬臂梁的受力状态，从而测量出质量块的加速度。根据悬臂梁力、变形和电信号测量原理的不同，主要有如下几种类型的加速度计，如电容类型，测量悬臂梁的挠度和电容之间的关系，压阻类型，通过亚阻传感器将悬臂梁的挠度通过电阻变化反应出来，压电类型，通过将变形转变成电压信号，磁力类型，通过在悬臂梁上挠度变形转变成磁场传感器和硬磁体之间距离的变化，通过磁性传感器磁场幅度的测量反应出来。但是。...
【技术保护点】
巨应力阻抗效应加速度计，其特征在于，由Si基片上1上的悬臂梁2，巨应力阻抗效应力敏传感器3，质量块4以及绝缘层5组成，当质量块4受到加速度作用时，悬臂梁2产生弯曲变形，巨应力阻抗效应力敏传感器3将所受的力转变成阻抗变化的信号输出，从而实现对加速度的测量；
【技术特征摘要】
1.巨应力阻抗效应加速度计，其特征在于，由Si基片上I上的悬臂梁2，巨应力阻抗效应力敏传感器3，质量块4以及绝缘层5组成，当质量块4受到加速度作用时，悬臂梁2产生弯曲变形，巨应力阻抗效应力敏传感器3将所受的力转变成阻抗变化的信号输出，从而实现对加速度的测量；2.如权利I所述的巨应力阻抗效应力敏传感器3，其特征是，由具有良好磁致伸缩效应的非晶软磁合金Fe基带材组成；3.如权利I所述的巨应力阻抗效应力敏传感器3，其特征是其各向异性场为沿着线条的宽度方向；4.如权利I所述的巨应力阻抗效应力敏传感器3，其特征在于其形状为曲折多匝结构，其线条长度为3-5mm，线条宽度为100-120微米，线条间距为50-...
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