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巨应力阻抗效应加速度计制造技术
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文档序号:8562002
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一种属于传感器技术领域的巨应力阻抗效应加速度计,本发明由硅基片上1的悬臂梁2,巨应力阻抗效应力敏传感器3,质量块4组成,巨应力阻抗效应力敏传感器3为具有高磁致伸缩系数的Fe基非晶合金薄带,其各向异性场为沿薄带宽度方向,形状为曲折多匝结构,质...
该专利属于周志敏;刘明;胡晓东所有,仅供学习研究参考,未经过周志敏;刘明;胡晓东授权不得商用。
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