加速度检测器或装置、倾斜传感器或检测装置、电子设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供加速度检测器或装置、倾斜传感器或检测装置、电子设备，该加速度检测器能够避免因与封装件的内表面的碰撞或超过强度极限的位移而导致的可动部或加速度检测元件的损坏。加速度检测器的特征在于，具备：基座部；板状的可动部，经由连接部而与该基座部连接；加速度检测元件，跨接基座部和可动部；支承部，在俯视观察时从基座部起沿着可动部而延伸，可动部的两个主面中的至少一个主面上配置有在俯视观察时一部分与支承部重合的质量部，可动部能够根据在与主面交叉的方向上施加的加速度，以连接部为支点而在与主面交叉的方向上位移，在质量部和支承部重合的区域内，于质量部和支承部之间设置有间隙。

【技术实现步骤摘要】
加速度检测器或装置、倾斜传感器或检测装置、电子设备
本专利技术涉及加速度检测器、具备该加速度检测器的加速度检测装置及电子设备。
技术介绍
在专利文献1中公开了一种摆式加速度计(以下，称为加速度检测器)，其具备：基座；摆式转动质量块，其通过铰链连接件而与基座相连接，并能够以该铰链连接件为旋转轴而进行转动；传感器单元，其使该转动质量块跨接于基座上。上述加速度检测器被构成为，通过使转动质量块(以下，称为可动部)根据施加的加速度而进行转动(以下，称为位移)，从而根据由于施加在传感器单元(以下，称为加速度检测元件)上的牵拉应力或压缩应力而产生的、加速度检测元件的共振频率的变化，来检测加速度。然而，上述加速度检测器中，可动部的位移的限制通过收纳加速度检测器的容器(以下，称为封装件)而实施。即，由于加速度检测器本身根本不具备对可动部的位移进行限制的结构要素，因此成为可动部或加速度检测元件能够位移至与封装件的内表面碰撞的结构。如上文所述，由于上述加速度检测器中，可动部的位移的限制依赖于作为外部部件的封装件，因此，由于与可动部(加速度检测元件)和封装件的内表面之间的间隙有关的多个尺寸公差要素(例如，构成封装件的各个部件的尺寸偏差、将加速度检测器固定到封装件上时的固定位置的偏差等)，从而存在可动部和封装件的内表面之间的间隙相对于设定值而产生大幅偏差的可能性。由此，在上述加速度检测器中，当可动部和封装件的内表面之间的间隙大于设定值的情况下，根据所施加的加速度的大小，存在可动部或加速度检测元件与封装件的内表面剧烈碰撞从而损坏的可能性。此外，在上述加速度检测器中，当可动部和封装件的内表面之间的间隙大于设定值的情况下，根据所施加的加速度的大小，存在即使可动部或加速度检测元件不与封装件的内表面发生碰撞，也会因超过强度极限的位移而发生损坏的可能性。另一方面，在上述加速度检测器中，当可动部和封装件的内表面之间的间隙小于设定值的情况下，由于可动部的位移范围变得小于设定，因此存在无法满足所设定的加速度检测范围的可能性。专利文献1：日本特开平1-302166号公报
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述课题中的至少一部分而完成的，并能够作为以下的方式或应用例而实现。应用例1本应用例所涉及的加速度检测器的特征在于，具备：基座部；板状的可动部，其通过连接部而与该基座部相连接；加速度检测元件，其跨接所述基座部和所述可动部；支承部，其具备在俯视观察时从所述基座部起沿着所述可动部而延伸的部位；质量部，其以在俯视观察时一部分与所述支承部重合的方式，而被配置在所述可动部的两个主面中的至少一个主面上，并且，在所述质量部和所述支承部重合的区域内，于所述质量部和所述支承部之间设置有间隙，从而能够使所述可动部根据在与所述主面交叉的方向上施加的加速度，以所述连接部为支点而在与所述主面交叉的方向上位移。根据该方式，加速度检测器中，在可动部的两个主面中的至少一个主面上，配置有在俯视观察时一部分与支承部重合的质量部，可动部能够根据所施加的加速度，以连接部为支点而在与主面交叉的方向上位移，并且在质量部和支承部重合的区域内的、两者之间设置有间隙。由此，加速度检测器中，能够通过被配置于可动部的主面上的质量部在位移与间隙相对应的量时与支承部接触，从而能够将根据加速度而发生位移的可动部的位移限制在预定的范围内。其结果为，由于加速度检测器自身设置有对可动部的位移进行限制的结构要素(以下，称为挡块)，因此能够在不依赖于作为外部部件的封装件的条件下，通过自身而对可动部的位移进行限制。因此，加速度检测器中，能够将例如封装件的内表面和加速度检测器之间的间隙设定为，充分大于质量部和支承部之间的间隙，从而能够避免如现有结构这种的、由于与封装件的内表面的碰撞或超过强度极限的位移而导致的、可动部或加速度检测元件的损坏。此外，加速度检测器中，例如封装件等外部部件的尺寸偏差(尺寸公差)不会作为偏差要素而施加在质量部和支承部之间的间隙的偏差上。由此，加速度检测器中，能够将质量部和支承部之间的间隙的偏差设定为，小于与现有的、封装件的内表面和加速度检测器之间的间隙的偏差。由此，加速度检测器能够避免如现有结构这种的、可动部的位移被限制在窄于设定的范围内，而无法满足所设定的加速度检测范围的故障。此外，由于加速度检测器自身设置有对可动部的位移进行限制的挡块，因此能够实现在所述的现有结构中无法实现的如下情况，即，能够在收纳于例如封装件等外部部件中之前，对可动部的位移的限制情况进行确认。由此，与现有结构相比，加速度检测器的优品率明显提高，从而能够降低实际使用时的损坏等故障。应用例2在上述应用例所涉及的加速度检测器中，优选为，所述支承部为，在俯视观察时与所述基座部一起包围所述可动部的框状。根据该方式，由于在加速度检测器中，支承部被形成为，在俯视观察时与基座部一起包围可动部的框状，因此，与例如支承部被分割于可动部的两侧的情况相比，能够提高支承部的与质量部接触时(碰撞时)的强度(耐冲击性)。此外，由于在加速度检测器中，支承部被形成为，在俯视观察时与基座部一起包围可动部的框状，因此，与例如支承部被分割于可动部的两侧的情况相比，能够以形状不会发生歪斜的稳定的状态，固定在例如封装件等外部部件上。由此，加速度检测器能够抑制固定在例如封装件等外部部件上时的、质量部和支承部之间的间隙的偏差的变化。应用例3在上述应用例所涉及的加速度检测器中，优选为，所述支承部具有多个固定部，并且在俯视观察时，所述加速度检测器的重心位于连结相邻的所述固定部彼此而围成的范围内、或连结相邻的所述固定部彼此的直线上。根据该方式，加速度检测器的支承部具有多个固定部，并且在俯视观察时，加速度检测器的重心位于连结相邻的固定部彼此而围成的范围内、或连结相邻的固定部彼此的直线上。由此，加速度检测器能够以不向任何方向倾斜的稳定的姿势，固定在例如封装件等外部部件上。应用例4在上述应用例所涉及的加速度检测器中，优选为，所述加速度检测元件具备：加速度检测部，其具有沿着连结所述基座部和所述可动部的方向而延伸的至少一根以上的振动梁；一对基部，其被连接于该加速度检测部的两端，并且，所述基部中的一个被固定于所述基座部上，而所述基部中的另一个被固定于所述可动部上。根据该方式，在加速度检测器中，加速度检测元件具备：加速度检测部，其具有至少一根以上的振动梁；一对基部，其被连接于加速度检测部的两端，并且，一个基部被固定于基座部上，而另一个基部被固定于可动部上。由此，加速度检测器能够实现如下结构，即，例如，振动梁根据因所施加的加速度而产生的可动部的位移进行伸缩，并将由于此时所产生的牵拉应力、压缩应力而引起的振动梁的振动频率的变化转换为加速度。在加速度检测器的、通过其自身而对可动部的位移进行限制的本结构中，缓和了对具备该振动梁的加速度检测元件的冲击，从而从避免加速度检测元件的损坏的观点出发，可以说本结构更具有效果。应用例5本应用例所涉及的加速度检测装置的特征在于，具备：上述应用例中的任一例所述的加速度检测器；封装件，其收纳所述加速度检测器。根据该方式，由于加速度检测装置具备上述应用例中任一例所述的加速度检测器、以及收纳加速度检测器的封装件，因此能够提供一种实现上述应用例中任一例所述的效果的加速度本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
2011.03.11 JP 2011-0540131.一种加速度检测器，其特征在于，具备：基座部；板状的可动部，其通过连接部而与该基座部相连接；加速度检测元件，其跨接所述基座部和所述可动部；支承部，其具备在俯视观察时从所述基座部起沿着所述可动部而延伸的部位；质量部，其以在俯视观察时一部分与所述支承部重合的方式，而被配置在所述可动部的两个主面中的至少一个主面上，在所述质量部和所述支承部重合的区域内，于所述质量部和所述支承部之间设置有间隙，从而能够使所述可动部根据在与所述主面交叉的方向上施加的加速度，以所述连接部为支点而在与所述主面交叉的方向上位移，所述质量部在俯视观察时从所述可动部的、所述连接部的相反侧的自由端侧起，避开所述加速度检测元件而以两叉状延伸至所述连接部附近，或者，以分割为两块的方式被配置成，在与连结所述基座部和所述可动部的方向正交的方向上从两侧夹持所述加速度检测元件。2.如权利要求1中的加速度检测器，其特征在于，所述支承部为，在俯视观察时与所述基座部一起包围所述可动部的框状。3.如权利要求1或权利要求2中的加速度检测器，其特征在于，所述支承部具有多个固定部，并且在俯视观察时，所述加速度检测器的重心位于，连结相邻的所述固定部彼此而围成的范围内、或连结相邻的所述固定部彼此的直线上。4.如权利要求1或权利要求2中的加速度检测器，其特征在于，所述加速度检测元件具备：加速度检测部，其具有沿着连结所述基座部和所述可动部的方向而延伸的至少一根振动梁；一对基部，其被连接于该加速度检测部的两端，所述基部中的一个被固定于所述基座部上，而所述基部中的另一个被固定于所述可动部上。5.一种加速度检测装置，其特征在于，具备：权利要求1或权利要求2中的加速度检测器；封装件，其收纳所述加速度检测器。6.一种电子设备，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：渡边润，中仙道和之，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：